半导体洁净室推车式加热器

别再等待加热器了：为何在洁净室中，红外线加热比强制对流加热更高效 如果你曾经负责将晶圆或基板在不同处理阶段之间搬运，那么你就知道其中的麻烦了。你必须不断努力来维持温度的稳定。大多数人仍然在使用那种老式的鼓风式加热器，它只是通过吹送热空气来加温而已。 说实话，这种方式效率极低。强制对流加热速度慢，而...