标签为“UHP”的页面如下 超纯度加热灯 停止让设备过热:处理半成品时更有效的控温方法 如果您曾在半导体工厂工作过,就会明白其中的难题。你需要将晶圆或基板加热到特定温度,但又不想让整个机器都变成“烤箱”。 普通的加热器其实就像灯泡一样,会向各个方向散发热量。其中大部分热量会直接照射在机器的墙壁上。结果就是,机器的壳体会变得非常热,而冷却系... Read more...
超纯度加热灯 停止让设备过热:处理半成品时更有效的控温方法 如果您曾在半导体工厂工作过,就会明白其中的难题。你需要将晶圆或基板加热到特定温度,但又不想让整个机器都变成“烤箱”。 普通的加热器其实就像灯泡一样,会向各个方向散发热量。其中大部分热量会直接照射在机器的墙壁上。结果就是,机器的壳体会变得非常热,而冷却系... Read more...