
ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেকিং প্রক্রিয়ায় ০.৫°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তনই যথেষ্ট হয়ে যায় পুরো উৎপাদন প্রক্রিয়াকে ধ্বংস করার জন্য। ওয়েফারগুলো স্থির অবস্থায় থাকে না, যন্ত্রপাতিগুলোও নিষ্ক্রিয় থাকে; ফলে উৎপাদন প্রক্রিয়ায় ব্যাঘাত ঘটে। আমরা এই ধরনের অস্থিরতা দূর করার জন্য আমাদের ফটোভোলটেইক সিলিকন ওয়েফার হিটারটি তৈরি করেছি।
এর অভ্যন্তরীণ কাঠামো খুবই চমৎকার। এটি কোয়ার্টজ-সমৃদ্ধ থার্মাল স্ট্যাকে থাকা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটারগুলোর সাহায্যে ওয়েফারের উপরিভাগে ±০.১°C এর মধ্যে সমান তাপমাত্রা বজায় রাখে। তাপমাত্রা কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই স্থিতিশীল হয়ে যায়; ক্লোজ্ড-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা প্রতিটি বেকিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে। এটি ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এর জন্যও উপযুক্ত; কারণ এর ডিজাইন এমন যা তাপ-নির্গমনকে শূন্যের কাছাকাছি রাখে। হিটারটি বারবার ওয়েট-ক্লিনিং প্রক্রিয়া সহ্য করতে পারে। পাওয়ার ডেনসিটি সাবস্ট্রেটের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; ইন্টারফেসটি স্ট্যান্ডার্ড মেকানিক্যাল ও ইলেকট্রিক্যাল কানেকশন ব্যবহার করে তৈরি হয়েছে; ফলে এটি বিদ্যমান কোটিং/বেকিং সিস্টেমে সহজেই ব্যবহার করা যায়।
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া নির্ভর করে পুনরাবৃত্তিমূলক বেকিং প্রক্রিয়ার উপর। সঠিক তাপমাত্রা ও দ্রুত স্থিতিশীলতা লাইন-ওয়েডথের পরিবর্তন কমায়, অ্যাডহেশন উন্নত করে এবং পুনরায় কাজ করার প্রয়োজনীয়তা কমায়। ফলে প্রথমবারেই উচ্চমানের উৎপাদন সম্ভব হয়, আর মেট্রোলজি পরীক্ষার সংখ্যাও কমে যায়। হিটারটি ২৪/৭ কাজ করে; নির্ধারিত সময় অন্তর রক্ষণাবেক্ষণ করা হয়; ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধ থাকার সময় কমে যায়। দ্রুত প্রতিক্রিয়া ও কম থার্মাল মাস এর কারণে শক্তি ব্যবহার কমে যায়; ফলে অপ্রয়োজনীয় শক্তি ও শীতলীকরণ খরচ কমে যায়।
ইনস্টলেশনের জন্য প্রয়োজন হয় একটি স্থিতিশীল, সমতল মাউন্টিং সপাটি এবং নির্ধারিত তাপমাত্রা বজায় রাখার জন্য উপযুক্ত কুলিং ব্যবস্থা। হিটারটি নির্ধারিত ভোল্টেজে কাজ করে; এটিকে কন্ট্রোলারের ক্যালিব্রেশন রেঞ্জের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ করতে হয়; অন্যথায় ছোট ছোট ত্রুটি দেখা দিতে পারে। নির্দিষ্ট পরিবেশে হিটারটির কার্যকারিতা নিশ্চিত করার জন্য সংক্ষিপ্ত টেস্ট করা উচিত।