লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, PEB ধাপটিই হলো সেই জায়গা, যেখানে আপনি ওয়েফারের লাইনওয়েডথ নির্ধারণ করেন। ওয়েফারের তাপমাত্রা ০.৫°C পরিবর্তন করলেই আপনি এমন একটি বায়াস পাবেন; যা অনেক সপ্তাহ ধরে অনুসরণ করতে হয়। আমরা এই “পোস্ট এক্সপোজার বেক হিটার”টি তৈরি করেছি, যাতে এই ধরনের সমস্যাগুলো দূর হয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
এর কোরটি হলো কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন শর্ট-ওয়েভ এমিটার অ্যারে; এর সাথে ক্লোজড-লুপ কন্ট্রোল ব্যবস্থা রয়েছে। ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারে তাপীয় সমানতা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। বিভিন্ন লটের মধ্যে এই সমানতা ±০.২°C এর মধ্যেই থাকে; ফলে ফটোরেসিস্টের সক্রিয়তা পরিবর্তিত হয় না। চেম্বারের উপাদানগুলো Class 1–100 মানের ক্লিনরুম-উপযোগী; আর হিটারের গঠন এমন যাতে টারবুলেন্স কম থাকে, ফলে বেকিং প্রক্রিয়ায় কোনো কণা তৈরি হয় না। ৯০°C থেকে ১৫০°C পর্যন্ত স্থিতিশীল তাপমাত্রা পাওয়া যায়; র্যাম্প রেট ১০°C/সেকেন্ড পর্যন্ত হয়। এছাড়া, হট স্পটগুলো এড়ানো যায়।
PEB তাপমাত্রার ত্রুটি কী প্রভাব ফেলে?
PEB তাপমাত্রার ত্রুটি সরাসরি CD-এর ত্রুটি ও উৎপাদন হ্রাসের কারণ হয়। এই হিটারের সাহায্যে সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো ঠিক যেমনটা নির্ধারিত হয়েছে সেভাবেই চলে। ফলে অপ্রয়োজনীয় ওয়েফারগুলো কম হয়; ক্রিটিক্যাল লেয়ারগুলোতে সমানতা বজায় থাকে; আর কোয়ালিফিকেশন প্রক্রিয়াগুলো দ্রুত সম্পন্ন হয়।
কী ধরনের ব্যবস্থা প্রয়োজন?
এই হিটারটি স্ট্যান্ডার্ড FOUP ও SEMI ইন্টারফেসের সাথে কাজ করে। কিন্তু এর জন্য একটি ডেডিকেটেড ২৪ ভোল্টের কন্ট্রোল লাইন এবং পরিষ্কার, শুষ্ক বায়ু প্রয়োজন। ইনস্টলেশনের সময় অ্যালাইনমেন্ট ও থার্মাল ড্রিফ্ট চেকের জন্য ৩০ মিনিট সময় দরকার। এরপর প্রতিদিন ক্যালিব্রেটেড ওয়েফার ব্যবহার করে সমানতা যাচাই করা উচিত।
উচ্চ আর্দ্রতার পরিবেশে কী করা উচিত?
উচ্চ আর্দ্রতার পরিবেশে পার্জ ফ্লো রেট যাচাই করা উচিত। নইলে কনডেনসেশনের কারণে ইনফ্রারেড রশ্মি বিচ্ছুরিত হয়, যার ফলে ছোটখাটো ত্রুটি দেখা দেয়।