Jak dosáhnout vyšší teploty na povrch desek (aniž bychom plýtvali energií)
V továrnách na výrobu polovodičů je cíl docela jednoduchý: chceme, aby co nejvíce tepelné energie dopadlo na povrch desky, a zároveň nechceme plýtvat ani wattem energie.
Problém s běžnými křemíkovými lampami spočívá v tom, že vydávají teplo do všech směrů. Pokud nemáte reflektor, polovina energie se pouze využije na zahřátí samotného korpusu stroje. To je plýtvání.
Proto používáme infračervené lampy s zlatou povrchovou vrstvou.
Proč zlato?
Není to otázka vzhledu. Zlato prostě skvěle odráží infračervené záření – mnohem lépe než hliník nebo leštěná ocel. Na zadní stranu křemíkového obalu nanášíme tenkou vrstvu zlata, což nutí fotony obrátit se přímo k cíli.
Výsledek? Intenzita tepla na povrchu desky se prakticky zdvojnásobí. Dosáhnete tak vysoké hustoty tepla bez potřeby zvyšování výkonu lampy.
Kompromisy
Je tu však jeden problém. Když soustředíte tolik energie, samotný obal lampy to silně ucítí. Zjistili jsme, že i když zlatá povrchová vrstva zvyšuje efektivitu, zvyšuje také zátěž upevňovacích prvků lampy. Musíte se ujistit, že vaše chladicí ventilátory dokážou zvládnout dodatečné teplo uvnitř komory. Pokud je průtok vzduchu slabý, lampy se vyhoří mnohem rychleji, než by měly.
Jak to funguje ve vaší výrobě
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby mohly nahradit stávající lampy. Prostě fungují s vaší stávající výrobní linkou. Skutečný tajemství spočívá v ohniskové vzdálenosti. Velmi pečlivě volíme umístění reflektoru, aby „teplový bod“ spadl přesně do středu desky. Pokud je poloha lampy ani o trochu špatná, distribuce energie se změní a výsledkem bude nerovnoměrné zahřívání desky. To rozhodně není dobré.
Tyto lampy vyrábíme pro prostředí, kde je nežádoucí jakákoli stopa poruchy. Díky nim dosáhnete lepšího termálního profilu a čas potřebný k nastartování procesu se výrazně zkrátí.
Poslední věc: udržujte povrch zlata čistý. I malé množství nečistot nebo oxidace na povrchu reflektoru okamžitě sníží efektivitu lampy.