V prostorách výroby znáte pravidla: už půl stupně odchylky během procesu měkkého zahřívání stačí k tomu, aby došlo ke ztrátě kontroly nad kritickými rozměry a začaly se objevovat vady v fotorezistentu. Potřebujete tedy zdroj tepla, který funguje jako konstanta – ne další proměnná, kterou je potřeba sledovat.
Co je technicky důležité
Používáme lampu se dvěma trubkami, pokrytou zlatem, která využívá krátkovlnné infrazáření. Lampička je umístěna v křemíkovém pouzdře také pokrytém zlatem. Výsledkem je rychlé a zaměřené ohřevání s minimálními ztrátami energie. Geometrie dvou trubic zajistí rovnoměrné rozložení tepla, čímž se snižují „horká místa“ a zlepšuje se prostorová jednotnost na celém povrchu polovodičové desky.
V praxi dosahujeme rovnoměrnosti teploty na úrovni ±0,1 °C během procesů měkkého i tvrdého zahřívání. Opakovatelnost hodnoty teploty je pak ±0,2 °C mezi jednotlivými sériemi výrobků. Zlaté pokrytí odráží infrazáření zpět do cílové oblasti, čímž se zlepšuje tepelný profil a snižuje se spotřeba energie. Po více než 5 000 hodinách provozu zůstává výkon stabilní, s odchylkou intenzity méně než 5 %.
Proč to funguje v průběhu výroby
Průběh zpracování fotorezistoru neodpouští mnoho chyb. Měkké zahřívání určuje viskozitu a adhezi fotorezistoru; tvrdé zahřívání pak dokončuje proces vytváření obrazu a připravuje povrch pro další zpracování. Tato lampa pokrývá rozsah velikostí litografických linek od 150 mm do 300 mm. Je vhodná pro použití v čistých prostorách od třídy 1 do třídy 100. Během provozu nevytváří žádné částice.
Díky tomu máte lepší kontrolu nad rozměry polovodičových desek, méně nutnosti oprav a méně odpadu. Teplo působí tam, kde je potřeba, takže neplýtváte energií na zbytečné účely. Navíc lampa funguje stabilně i při nepřetržitém provozu, což znamená méně neočekávaných problémů a kratší doby údržby.
Na co si dát pozor při instalaci
Instalace vyžaduje přesné optické zarovnání a čisté, odolné proti vibracím uspořádání. I několik milimetrů odchylky v zarovnání může negativně ovlivnit rovnoměrnost teploty.
Lampa pracuje při vysoké intenzitě záření, proto je nutné sladit systém řízení tepla podložky a časování zavírání clony s požadavky procesu. Před instalací si ověřte napětí a kompatibilitu konektorů s vaším zařízením. Když je vše správně nastaveno, dosáhnete opakovaně stejných výsledků – den za dnem, sérii za sérií.