Sušení on Warm IR Heaters for Home

Energetická audita sušení v továrně

Fri, 17 Jul 2026 01:46:49 +0800

Udržení vašich výrobků suchých bez nepořádku

Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte strašidelné následky úniku částic. Jeden malý kousek z levného vytápěcího prvku nebo trocha plynů vycházejících z lampy nízké kvality může zničit vaše výrobky. Výnosy klesnou. Je to katastrofa.

Proto používáme pro naše infračervené lampy syntetický křemín o vysoké čistotě. Díky tomu zůstávají všechny povrchy čisté.

Proč křemín skutečně funguje

Používáme křemín zrobený z spálené síry – protože se nechová negativně při změnách teploty. Má velmi nízký koeficient tepelné expanze, což znamená, že se nepraskne, když ho rychle ohřejeme a ochladíme.

Ohřívač na sušení destiček senzorů MEMS

Thu, 16 Jul 2026 01:13:53 +0800

Proč je IR zahřívání lepší než horký vzduch při sušení waferů MEMS

Pokud stále používáte cirkulaci horkého vzduchu k sušení waferů senzorů typu MEMS, trávíte příliš mnoho času jen čekáním. Je to úzké hrdlo v procesu sušení.

Horký vzduch funguje na principu konvekce – musíte nejprve ohřát vzduch, a teprve potom může vzduch ohřát wafer. Jedná se tedy o prostředník, což zpomaluje celý proces.

IR zahřívání je jiné. Využívá elektromagnetické záření k přímému působení na povrch waferu. Žádný prostředník není potřeba. Viděli jsme, jak se doba sušení zkrátila z několika minut na pouhé několik sekund. V případě vysoké produkce to představuje obrovskou výhodu – můžete každou hodinu vyrobit více waferů, aniž byste museli budovat větší čistírny.

Lampa na sušení deionizované vody

Mon, 22 Jun 2026 18:39:11 +0800

V prostředí výroby může jeden kapek vody po procesu litografie způsobit velké problémy. Konvenční metody sušení způsobují kolísání teploty a částice se dostávají z horkých povrchů přímo do fólie. Vyvinuli jsme lampy na sušení deionizované vody, které eliminují tyto problémy. Krátkovlnné infračervené záření rychle ohřívá vodní film, aniž by došlo k přehřátí fotorezisty. Tím se wafty suší čistě a udržuje se stabilní teplota během procesu sušení.

Co je důležité Krátkovlnné infračervené záření rychle proniká vodním filmem. Křemenná obálka a geometrie reflektoru zajistí, že teplo zůstane tam, kde je potřeba. Dosahuje se tak rovnoměrnosti teploty na úrovni waftů v rozmezí ±0,1 °C a je možné precizně kontrolovat teplotu během sušení fotorezistu. Systém funguje v čistých prostorách třídy 1–100. Vyhřívaná oblast nevytváří žádné částice a nedochází k uvolňování plynů, které by mohly kontaminovat fotorezist. Intenzita napájení je nastavena tak, aby docházelo k odpařování bez překročení teplotních limitů fotorezistu. Výkon lampy zůstává stabilní po celou dobu provozu – dosud jsme pozorovali, že lampy fungují více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %.

Časovač pro sušičku wafrů

Mon, 08 Jun 2026 02:24:03 +0800

Z waferu vyjíždí z čistící lázně pokrytý vrstvou DI vody. Sušicí pec musí tuto vlhkost odstranit, aniž by došlo k poškození fotoresistu nebo uvolnění částic. Pokud časovač posune interval, doba pobytu se změní—a to se na lince projeví jako únik výtěžku. Proto jsme vyvinuli časovač pro sušicí pece na wafery, který udržuje proces v rámci specifikací.
Co musí technicky zvládnout
Tento časovač je určen pro tepelnou linku v polovodičovém průmyslu. Přesnost měření času je 0,1 % a opakovatelnost ±10 ms. Připojuje se přímo do řídicích smyček pecí, s napětím 24 VDC a PLC bezpečnostními zámky, a má krytí IP54 pro vlhké, chemicky agresivní prostředí čistících zón. Konstrukce je kompatibilní s čistými prostory, používají se materiály s nízkým outgassingem a displej zobrazuje uplynulý čas i dokončený cyklus—bez spekulací. Uživatelské rozhraní je záměrně jednoduché: nastavit, spustit, potvrdit.
Proč je to při sušení důležité
Sušení waferů funguje v úzkém rozmezí tepelného rozpočtu. Pokud je cyklus příliš krátký, vznikají na povrchu vodní skvrny. Pokud je příliš dlouhý, hrozí přetavení fotoresistu nebo se připravujete o problémy s okrajovými výztužemi (edge bead) při další vrstvě/následném pečení. Tento časovač eliminuje proměnnou operátora a zajišťuje konzistentní dobu cyklu, šarže po šarži.
Výsledkem je vyrovnaná úroveň vysušení, méně nutných oprav a stabilní počet částic bez kolísání mezi směnami. Zároveň pomáhá přesně evidovat časy cyklů pro SPC, aniž by zbytečně zatěžoval linku.
Co je potřeba vědět při instalaci
Instalace spočívá ve sladění řídicího napětí pece a logiky bezpečnostních zámků. Dodáváme zapojovací schémata a kalibrační korekce tak, aby okno časovače odpovídalo vyhřívací a reprocesní fázi pece. Doporučujeme provést 15minutovou integraci během údržbové okna.
Časovač je odolný, ale nenahrazuje řízení teploty. Doporučíme jej používat ve spojení s ověřeným plánem tepelné uniformity pece, aby byl proces kompletní.