Obtener más calor en las obleas (sin desperdiciar energía)
Cuando se trabaja en fábricas de semiconductores, el objetivo es bastante simple: se desea que la mayor cantidad posible de energía térmica llegue a la superficie de la oblea, y no se quiere desperdiciar ni un solo vatio de energía.
El problema con las lámparas de cuarzo convencionales es que emiten calor en todas direcciones. Si no se utiliza un reflector, la mitad de la energía se destina únicamente a calentar el chasis de la máquina. Es un desperdicio.
Por eso utilizamos lámparas infrarrojas recubiertas de oro.
¿Por qué el oro?
No se trata de aspectos estéticos. El oro es extraordinariamente eficaz para devolver la radiación infrarroja hacia atrás; es mucho mejor que el aluminio o el acero pulido. Colocamos una fina capa de oro en la parte posterior del envoltorio de cuarzo, lo cual hace que los fotones regresen directamente hacia el objetivo.
El resultado es que se duplica la intensidad de calor en la oblea. Se logra así un aumento significativo en la densidad de calor, sin necesidad de aumentar la potencia de la lámpara.
El compromiso
Sin embargo, hay un inconveniente. Cuando se concentra tanta energía, el cuerpo de la lámpara sufre mucho estrés. Hemos observado que, aunque el revestimiento de oro mejora la eficiencia, también ejerce mucha más presión sobre los sellos de la lámpara. Es necesario asegurarse de que las fans de refrigeración puedan manejar el calor adicional dentro de la cámara de curado. Si el flujo de aire es insuficiente, las lámparas se quemarán mucho antes de lo esperado.
Para que funcione en su línea de producción
Estas lámparas están diseñadas para reemplazar fácilmente las lámparas existentes. Funcionan perfectamente con las líneas de curado ya existentes.
El verdadero secreto está en la longitud focal. Nos preocupamos mucho por el reflector, para que el “punto caliente” quede exactamente en el centro de la oblea. Si la posición del soporte de la lámpara varía siquiera un poco, la distribución de la energía se alterará, lo que causará un curado irregular. No es algo deseable.
Las construimos para entornos donde el tiempo de inactividad es un problema. Se obtiene así un perfil térmico más preciso y tiempos de preparación mucho más rápidos.
Una última cosa: mantenga la superficie dorada impecable. Cualquier tipo de contaminación u oxidación en el reflector disminuirá drásticamente la eficiencia de la lámpara.