Calentador de post exposición (PEB)

Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800

En la sala de litografía, el paso PEB es el momento en el que se fijan los valores de anchura del trazo. Si se altera la temperatura en 0,5 °C sobre la oblea, se generará un desviación que tendrá que corregirse durante semanas. Hemos diseñado este calentador para eliminar esa variable.

Lo que realmente importa El núcleo del calentador está formado por un conjunto de emisores de onda corta de tipo cuarzo-halógeno, junto con un sistema de control en bucle cerrado. En una oblea de 300 mm, la uniformidad térmica se mantiene dentro de ±0,1 °C. La reproducibilidad de un lote a otro también se mantiene dentro de ±0,2 °C, lo que significa que el perfil de activación del fotoreactivo no varía. Los materiales utilizados en la cámara cumplen con los estándares de salas limpias de clase 1–100. Además, la geometría del calentador evita la turbulencia, lo que permite que no se generen partículas durante el proceso de calentamiento. Se obtienen puntos de ajuste estables entre 90 °C y 150 °C, con una tasa de aumento de temperatura de hasta 10 °C/s. Además, la disposición del calentador evita la formación de zonas calientes sobre la oblea.

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Calentador de post exposición (PEB)