در فرآیند لیتوگرافی، حرارتدهی به فوتورزیست، صرفاً یک روش گرم کردن ساده نیست؛ بلکه بخش مهمی از فرآیند تولید است. اگر دمای حرارتدهی حتی یک یا دو درجه تغییر کند، میتواند باعث افت دقت ابعاد محصول شود. همچنین، وجود ذرات نیز میتواند باعث از بین رفتن کل محصول شود. بنابراین، به منبع حرارتی مادون قرمز نیاز داریم که بتواند حرارت یکنواختی ایجاد کند؛ بدون نیاز به حدس و گمان.
موارد مهم از نظر فنی:
ما لامپ مادون قرمز مورد استفاده برای حرارتدهی فوتورزیست را با استفاده از عناصر کوارتزی با پاسخ سریع ساختیم؛ این عناصر در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز میرسند. این سیستم دارای دقت حرارتی ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح ویفر است؛ بنابراین هر قطعه از ویفر، همان شرایط حرارتی را دارد. این سیستم همچنین سازگار با استانداردهای اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ زیرا از موادی با تولید گاز کم و ساختاری استفاده شده که جلوی تولید ذرات را میگیرد. عدم تولید ذرات، صرفاً یک شعار نیست؛ ما این موضوع را با استفاده از مواد کنترلشده و مسیر حرارتی بسته، به واقعیت تبدیل کردهایم. این لامپ به طور مداوم و بدون هیچ وقفهای کار میکند؛ همچنین، خروجی آن در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، در محدوده دقت مشخصی باقی میماند.
چرا این روش در خط تولید مؤثر است؟
این لامپ، حرارت را دقیقاً در نقاط مورد نیاز به فوتورزیست منتقل میکند؛ این کار باعث میشود ویفر به سرعت به دمای مورد نیاز برسد و سپس در آن دما باقی بماند. نتیجه این کار، تکرارپذیری بالاتر فرآیند تولید و کاهش مواد از بین رفته است. یکنواختی حرارتی، باعث کاهش نقصهای موجود در لبههای ویفر میشود؛ همچنین، پاسخ سریع لامپ، زمان حرارتدهی را کاهش میدهد، بدون اینکه کنترل بر روی ویژگیهای ویفر از بین برود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ به درخواست کار میکند و سریع خنک میشود؛ همچنین، کمتر بودن نیاز به تعویض لامپ، باعث کاهش وقفههای نگهداری میشود.
نکاتی که باید از قبل بدانید:
برای نصب لامپ، باید هندسه منعکسکننده و دهانه آن را با فرآیند روغنکاری ویفر هماهنگ کنید؛ همچنین، لامپ باید به سیستم کنترل دمای فرآیند متصل شود. قبل از نصب، حتماً ولتاژ و اتصالات لامپ را با استانداردهای تولیدکننده بررسی کنید. پس از راهاندازی اولیه، سیستم نیاز به زمانی برای استabil شدن از نظر حرارتی دارد؛ بنابراین، برنامهریزی فرآیند حرارتدهی را با این موضوع در نظر بگیرید تا بتوانید در محدوده فرآیند مورد نیاز باقی بمانید.