کاهش میزان کربن در ابزارهای فرآوری ویفرها با استفاده از حرارت مادون قرمز
در حال حاضر، همه درباره «کارخانههای سبز» صحبت میکنند. این موضوع یکی از اهداف مهم در طراحی کارخانههای تولید تراشه است. یکی از راحتترین راهها برای کاهش میزان کربن تولیدی، کنار گذاشتن استفاده از روشهای گرمایشی مبتنی بر مقاومت الکتریکی و استفاده از لامپهای مادون قرمز است.
دلیل اهمیت این روش این است:
لامپهای مبتنی بر مقاومت الکتریکی، نیروی زیادی را صرف گرم کردن دیوارههای محفظه میکنند؛ در حالی که ویفر هنوز هیچ تأثیری از این گرما نمیبیند. این کار، هدررفت انرژی است.
اما لامپهای مادون قرمز به شکل متفاوتی عمل میکنند؛ آنها تابش الکترومغناطیسی را مستقیماً به سطح ویفر ارسال میکنند. به همین دلیل، میتوانیم به سرعت به دمای مورد نظر برسیم. وقتی که زمان لازم برای گرم شدن کاهش مییابد، ابزار نیاز کمتری به انرژی دارد.
همچنین، مشکل گرمای اضافی نیز وجود دارد. وقتی از لامپهای مادون قرمز استفاده میکنیم، چگالی گرما بالا میرود؛ این امر امکان انجام فرآیندهای گرمایی سریع را فراهم میکند، بدون اینکه سایر بخشهای ابزار دچار گرمای بیش از حد شوند.
این همان راهی است که میتواند به صرفهجویی در مصرف انرژی کمک کند. اما البته، این روش نیز معایبی دارد؛ این لامپها مدت زمان زیادی کار نمیکنند، بنابراین باید آنها را بیشتر تعویض کرد.
در نهایت، موضوع به «انرژی حرارتی» برمیگردد؛ با هدف قرار دادن ویفر به جای گرم کردن کل دستگاه، میتوانیم انرژی را هدر ندهیم. این روش، راهی عملی برای دستیابی به اهداف کاهش کربن است، بدون اینکه سرعت تولید یا کیفیت محصولات تحت تأثیر قرار بگیرد.