http://warm-ir-heater-home.com/fa/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on Warm IR Heaters for Home Hugo fa Fri, 05 Jun 2026 01:03:58 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/fa/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Fri, 05 Jun 2026 01:03:58 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/fa/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="انتشار دهنده مادون قرمز گرمایی PECVD"></p> <p>در کف کارخانه، انحراف ۰.۵°C در پروفایل پخت اتاق <a href="https://o-yate.net">PECVD</a> یک نکته قابل چشم‌پوشی نیست. این انحراف به صورت ناپیوستگی ضخامت در سراسر ویفر، تنش نامناسب و دسته‌هایی که ضایعات می‌شوند، ظاهر می‌شود. شما نیاز به حرارتی دارید که فرآیند را دنبال کند، نه بالعکس.</p> <p><strong>آنچه زیر پوسته اهمیت دارد</strong><br> ما المنت مادون قرمز گرمایشی PECVD را بر پایه‌ی نور نزدیک کوتاه‌موج (short-wave NIR) ساختیم زیرا زمان پاسخ‌گویی آن برحسب ثانیه است، نه دقیقه. هدف، یکنواختی در سطح ویفر با ±۰.۱°C در محدوده پخت است و این یکنواختی در طول هر دو دستور پخت نرم و سخت حفظ می‌شود. پوشش کوارتز و بدنه سرامیکی این المنت برای محیط‌های <a href="https://henruite.com">cleanroom</a> کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است و طراحی حرارتی آن تولید ذرات را به صفر می‌رساند. تکرارپذیری خروجی در هزاران سیکل در محدوده ۱٪ باقی می‌ماند تا بودجه حرارتی شما کنترل شده باقی بماند.</p>