Arrêtez d’attendre que votre four chauffe : pourquoi l’infrarouge est supérieur à l’air forcé dans le semi-traitement des semi-conducteurs
Si vous avez déjà passé du temps dans un laboratoire de semi-conducteurs, vous connaissez bien cette frustration liée à l’attente que l’air chaud se diffuse dans la pièce. C’est un processus lent. L’air forcé oblige en fait à attendre que l’air se réchauffe, puis que la chambre elle-même se réchauffe, et enfin – si l’on a de la chance – que le substrat se réchauffe. C’est lent, et dans un environnement de production à haute pression, cet écart de temps semble interminable.
C’est là que les lampes infrarouges entrent en jeu. Au lieu de chauffer toute la pièce, ces lampes dirigent leur énergie directement vers la zone ciblée.
C’est complètement différent.
Lorsque vous passez d’un four à convection à une lampe infrarouge, vous cessez de traiter tout le volume d’air et vous vous concentrez uniquement sur la surface à traiter. Ces lampes atteignent leur température de fonctionnement en quelques secondes. Plus besoin d’attendre que le cycle de chauffage soit terminé. Pour votre équipe, cela signifie que le temps nécessaire pour traiter chaque wafer diminue. Vous pouvez accélérer le processus, réduire le temps de traitement, et ainsi faire avancer les choses plus rapidement.
Mais il y a un problème : comme ces lampes dégagent beaucoup de chaleur en un espace restreint, elles créent une quantité importante de chaleur concentrée. On ne peut pas simplement placer une lampe infrarouge dans un endroit conçu pour un air froid et espérer obtenir de bons résultats. Il faut s’assurer que le système de ventilation peut gérer cette charge thermique, sinon on ne fait que changer un problème par un autre.
Il y a aussi la question de la propreté. Les ventilateurs agitent les particules de poussière, ce qui est la dernière chose désirable dans une salle propre. L’infrarouge, lui, ne déplace pas d’air. Il est statique. Silencieux. Propre.
Nous constatons les meilleurs résultats dans les étapes de séchage et de dégazage. Au lieu d’attendre que la chambre soit complètement saturée, la lampe infrarouge agit immédiatement sur le matériau. C’est rapide. Et pour toute entreprise cherchant à traiter davantage de wafers sans sacrifier la qualité, c’est généralement la première modification qu’elle apporte.