נורת חימום הלוגנית מקוורץ לשימוש בחצאי מוליכים

בקו הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום יכול לגרום לשינוי של ננומטרים במאפייני הפוטורזיסט. באופן פתאומי, השליטה בממדים הקריטיים של הוופרים...