http://warm-ir-heater-home.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוסט on Warm IR Heaters for Home Hugo he Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="מחמם לאחר חשיפה (PEB)"></p> <p>בחדר הליתוגרפיה, שלב PEB הוא השלב בו קובעים את רוחב הקווים שייוצרו. אם משנים את הטמפרטורה ב-0.5°C, נוצרת סטייה שתצטרך לתקן במשך שבועות. ייצרנו את התנור הזה כדי להעלים את השינויים האלו.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> הליבה של התנור היא מערך של גופי פליטה מסוג קוורץ-הלוגן, בשילוב עם בקרה במעגל סגור. על גבי וופר בגודל 300 ממ, האחידות התרמית נשמרת בטווח של ±0.1°C. החזרתיות בין סדרות שונות נשמרת בטווח של ±0.2°C, כך שפרופיל הפעילות של הפוטורזיסט לא משתנה. חומרי התנור מתאימים לחדרי ניקיון מדרגה 1–100, וגאומטריית התנור מונעת טורבולנציה, כך שאין יצירת חלקיקים במהלך החימום. ניתן לקבל ערכי טמפרטורה יציבים בטווח של 90°C עד 150°C, עם קצב עלייה של עד 10°C/שנייה. התנור מונע יצירת אזורים חמים באזורי העבודה.</p>