लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया कोई “वॉर्म-अप” प्रक्रिया नहीं है; बल्कि यह एक महत्वपूर्ण तापीय प्रक्रिया है। यदि इस प्रक्रिया में थोड़ी सी भी त्रुटि हो जाए, तो महत्वपूर्ण मापदंडों में गड़बड़ी हो जाती है। इसमें कणों का उत्पादन भी शामिल है… ऐसी स्थिति में पूरी प्रक्रिया व्यर्थ हो जाती है। इसके लिए ऐसे इन्फ्रारेड स्रोत की आवश्यकता है, जो नियमित और विश्वसनीय तापमान प्रदान करे… बिना किसी अनुमान के।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने फोटोरेजिस्ट को गर्म करने हेतु ऐसे इन्फ्रारेड लैंप बनाए, जिनमें शॉर्ट-वेव NIR तरंगें एवं तेज़ प्रतिक्रिया वाले क्वार्ट्ज घटक हैं… जो कुछ ही सेकंडों में तापमान प्रदान करते हैं। इस सिस्टम में वेफर की सतह पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C है… ताकि हर वेफर पर एक ही तापमान बना रहे। क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों का भी पालन किया गया है… कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों एवं ऐसी ज्यामिति का उपयोग किया गया है, जिससे कणों का उत्पादन न हो। “शून्य कण उत्पादन” कोई सिर्फ नारा नहीं है… हम इसे नियंत्रित सामग्रियों एवं बंद तापीय प्रणाली के द्वारा ही संभव बनाते हैं। यह लैंप 24/7 काम करता है… बिना किसी बंद्शन के… एवं 5,000+ घंटों तक नियंत्रित तापमान ही बना रहता है।
यह प्रक्रिया क्यों कारगर है?
यह लैंप, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने हेतु सही स्थान पर ही काम करता है… यह वेफर को तेज़ी से गर्म करता है, फिर उसी तापमान पर ही रखता है। इससे प्रक्रिया में एकरूपता बनी रहती है… एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है। तेज़ तापीय प्रतिक्रिया के कारण बेकिंग प्रक्रिया भी तेज़ हो जाती है… लेकिन तापमान पर कोई नियंत्रण नहीं खोता। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि लैंप मांग के अनुसार ही गर्म होता है… एवं जल्दी ही ठंडा भी हो जाता है… इससे रखरखाव में भी कमी आ जाती है।
पहले ही जानने योग्य बातें:
स्थापना के दौरान रिफ्लेक्टर की ज्यामिति एवं एपर्चर को कोटर/ट्रैक ओवन के अनुरूप ही रखना आवश्यक है… एवं लैंप को ओवन के तापमान नियंत्रण प्रणाली से जोड़ना आवश्यक है। रिट्रोफिट करने से पहले, OEM इंटरफेस के अनुरूप वोल्टेज एवं कनेक्टरों की संगतता की जाँच आवश्यक है। ठंडे शुरुआती चरण के बाद सिस्टम तापीय रूप से स्थिर हो जाता है… इसलिए अपनी बेकिंग प्रक्रियाओं को इसी ध्यान में रखकर ही तय करें… ताकि आप आवश्यक प्रक्रिया खिड़की के भीतर ही रहें।