टूटे हुए काँच के टुकड़ों से बचें: अपने वेफर्स को हीटरों की खराबी से बचाएं
उच्च-मात्रा में चिप निर्माण करते समय, एक ही लैंप की खराबी भी बड़ी समस्या हो सकती है… यह तो वास्तव में एक आपदा ही है। जब क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो न केवल गर्मी बाहर निकल जाती है, बल्कि काँच के टुकड़े एवं धूल भी पूरे क्लीन रूम में फैल जाते हैं… ऐसी स्थिति में पूरा वेफर सेट नष्ट हो सकता है।
हम ऐसे इन्फ्रारेड हीटर बनाते हैं, ताकि ऐसा न हो।
ट्यूबें क्यों टूट जाती हैं?
ज्यादातर मामलों में, ऐसा थर्मल शॉक या स्थानीय रूप से अत्यधिक गर्मी के कारण होता है। इसे रोकने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… ऐसा करने से गर्मी ठीक से फैल जाती है।
हम हीटिंग तत्वों की सही स्थिति पर भी ध्यान देते हैं… अगर यह थोड़ा भी विचलित हो जाता है, तो ट्यूब एक ही जगह पर अत्यधिक गर्म हो जाती है एवं टूट जाती है। इसके अलावा, पावर सप्लाई भी महत्वपूर्ण है… अगर पावर सप्लाई में उतार-चढ़ाव होता है, तो ट्यूब क्षतिग्रस्त हो जाती है। मैं हमेशा प्रीसिज़न PID कंट्रोलरों का उपयोग करने की सलाह देता हूँ… ऐसा करने से ट्यूबों पर अतिरिक्त दबाव नहीं पड़ता।
सुरक्षा उपाय
हम केवल क्वार्ट्ज पर ही भरोसा नहीं करते… हम अतिरिक्त सुरक्षा उपाय भी करते हैं।
हमारे डिज़ाइन में ऐसी व्यवस्था है, जिससे टूटे हुए काँच के टुकड़े बाहर न निकल सकें… हम तत्वों को रासायनिक रूप से निष्क्रिय कवरों में रखते हैं… ऐसा करने से, अगर कोई लैंप टूट जाता है, तो उसके टुकड़े अंदर ही रह जाते हैं… आपके वेफर्स को इसका कोई अहसास ही नहीं होता।
गर्मी की समस्या
यहाँ एक समस्या है… उच्च-वॉटेज वाले लैंप तो तेज़ी से गर्म हो जाते हैं… लेकिन ऐसी गर्मी से वायरिंग एवं कनेक्टरों पर बहुत दबाव पड़ता है… ऐसी स्थिति में लोग अक्सर गलती कर जाते हैं… वे कूलिंग फैनों को “सैद्धांतिक न्यूनतम” मानकों के आधार पर ही चुनते हैं… जबकि वास्तविक गर्मी का दबाव इससे कहीं अधिक होता है… अगर हाउसिंग बहुत गर्म हो जाती है, तो क्लीन रूम के ओवनों की सीलिंग खराब हो जाती है।
एक छोटी सी सलाह: ऐसे लैंपों को ओवर-करंट प्रोटेक्शन वाले सर्किट में ही जोड़ें… ऐसा करने से लैंप टूटने से बच जाते हैं, एवं आपका कार्य भी निरंतर चलता रहता है।