आईआर तापन तकनीक के द्वारा वेफर निर्माण में कार्बन उत्सर्जन को कम करना
आजकल हर कोई “हरित कारखानों” की बात कर रहा है। यह अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाओं में एक महत्वपूर्ण कदम है। कार्बन उत्सर्जन को कम करने का सबसे आसान तरीका क्या है? विरोधी तापन तकनीकों का उपयोग बंद करके इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग शुरू करना है।
विरोधी तापन तकनीकों में बहुत अधिक ऊर्जा खर्च होती है; वेफर को गर्म होने में बहुत समय लगता है। यह एक तरह का अपव्यय है। इन्फ्रारेड लैंप अलग तरह से काम करते हैं – वे विद्युत-चुम्बकीय विकिरण को सीधे वेफर की सतह पर भेजते हैं। इस कारण वेफर जल्दी ही वांछित तापमान तक पहुँच जाता है। जब तापन समय कम हो जाता है, तो उपकरण को ग्रिड से अधिक ऊर्जा नहीं लेनी पड़ती।
लेकिन इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करने में कुछ समस्याएँ भी हैं। ऐसे लैंपों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है। यदि सेंसरों में थोड़ी भी गलती हो जाए, तो वेफरों पर गर्म बिंदु बन जाते हैं, जिससे वेफरों को नुकसान पहुँच सकता है। इसलिए ऐसे सेंसरों का उपयोग आवश्यक है, जो विशिष्ट सामग्रियों की विकिरण-क्षमता को समझ सकें।
इसके अलावा, ऐसे लैंप हमेशा तक काम नहीं करते। इन्हें बार-बार बदलना पड़ता है। यही इनका नुकसान है।
लेकिन अंततः, यह सब “तापीय जड़त्व” पर ही निर्भर है। जब हम पूरे उपकरण को गर्म करने के बजाय सीधे वेफर को ही गर्म करते हैं, तो हम ऊर्जा का दुरुपयोग रोक देते हैं। यह कार्बन-तटस्थता के लक्ष्यों को प्राप्त करने का एक व्यावहारिक तरीका है।