Mengurangi Emisi Karbon pada Alat Pemrosesan Wafer dengan Pemanasan Inframerah
Saat ini, semua orang membicarakan konsep “Pabrik Hijau”. Ini merupakan hal yang sangat penting dalam desain pabrik semikonduktor. Salah satu cara termudah untuk mengurangi jejak karbon adalah dengan berhenti menggunakan sistem pemanasan tipe resistif dan beralih ke penggunaan lampu inframerah.
Inilah alasannya:
Pemanas tipe resistif kurang efisien. Energi yang digunakan untuk memanaskan dinding ruangan sangat besar, padahal wafer belum merasakan panas sama sekali. Itu merupakan pemborosan energi.
Lampu inframerah bekerja secara berbeda. Lampu ini mengirimkan radiasi elektromagnetik langsung ke permukaan wafer. Dengan demikian, suhu yang diinginkan dapat dicapai lebih cepat. Dengan mengurangi waktu pemanasan tersebut, alat pemrosesan tidak perlu menggunakan daya listrik sebanyak sebelumnya.
Selain itu, ada juga masalah terkait penyerapan panas. Ketika kita menggunakan lampu inframerah, densitas panasnya tinggi. Hal ini memungkinkan kita melakukan proses pemrosesan termal yang cepat, tanpa membuat bagian mekanis alat menjadi terlalu panas.
Itulah keuntungan dari penggunaan lampu inframerah. Karena rangka alat tetap dingin, maka pendingin tidak perlu bekerja keras untuk menjaga suhu tetap stabil. Dengan demikian, konsumsi energi pun berkurang. Ini merupakan solusi yang win-win.
Namun, tentu saja tidak semuanya sempurna. Menggunakan lampu inframerah juga memiliki beberapa kelemahan. Lampu ini menghasilkan banyak sekali panas. Jika sensor yang digunakan tidak akurat, maka akan muncul titik-titik panas yang dapat merusak wafer. Kita perlu menggunakan pirometer yang mampu mengukur emisivitas bahan yang digunakan agar segalanya tetap terkendali.
Selain itu, lampu inframerah tidak bertahan selamanya. Kita perlu menggantinya lebih sering dibandingkan pemanas tipe keramik. Itulah trade-off yang harus diterima.
Pada akhirnya, hal ini berkaitan dengan konsep “inersia termal”. Dengan memanaskan wafer langsung, kita menghindari pemborosan energi. Ini merupakan cara yang praktis untuk mencapai tujuan netralitas karbon, tanpa mengurangi efisiensi produksi atau kualitas hasil pemrosesan.