Nella fase di produzione, il processo di fan-out WLP comporta la formazione di zone “vive” e “morte” durante la fase di cottura. Un leggero cambiamento nella temperatura durante la cottura del fotoresistente, o un piccolo scostamento nella temperatura di polimerizzazione del composto utilizzato per i modelli in epossi, può causare problemi come una scarsa regolazione della larghezza delle linee di tracciamento, vuoti nell’area di riempimento e deformazioni del componente finale. L’irregolarità termica su tutta la superficie del pannello non si manifesta soltanto nei dati registrati, ma anche sotto forma di componenti difettosi e perdita di produttività.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Abbiamo progettato questo riscaldatore per il processo di fan-out WLP al fine di soddisfare gli standard termici richiesti per l’uso in attrezzature semiconduttrici. La stabilità della temperatura è di ±0,1°C; inoltre, si ottiene un’omogeneità termica su tutta la superficie attiva del pannello, con tempi di risposta rapidi grazie all’uso di elementi a infrarosso a lunghezza d’onda corta e a un sistema di controllo termico preciso. Il dispositivo è adatto per essere utilizzato in ambienti di tipo Class 1–100: ha una struttura che permette di controllare i particolati presenti nell’aria, e i materiali utilizzati non rilasciano gas durante il funzionamento. Il dispositivo può funzionare 24/7 senza interruzioni impreviste, garantendo così una ripetibilità elevata dei processi da un lotto all’altro.
Perché funziona bene in questo contesto
Nel processo di fan-out WLP, l’energia viene distribuita su pannelli più grandi e sottili, senza che le bordure vengano danneggiate. Questo riscaldatore permette un controllo preciso della temperatura proprio all’interfaccia tra il fotoresistente e il modello in epossi, evitando così gradienti termici che potrebbero causare stress e instabilità dimensionale. In questo modo si ottengono risultati prevedibili, meno lavori di riparazione e profili di cottura stabili. Inoltre, il consumo energetico è ridotto grazie alla bassa massa termica del dispositivo e al controllo preciso della temperatura. Anche gli intervalli di manutenzione sono più lunghi, grazie alla durata elevata degli elementi utilizzati e alle interfacce meccaniche affidabili.
Cose da sapere
L’installazione richiede semplicemente che l’interfaccia di connessione sia compatibile con quella dello strumento, e che la tensione di alimentazione e il tipo di connettore siano conformi alle specifiche dello strumento stesso. È necessario mantenere pressione e flusso dei gas entro i valori previsti dal processo; qualunque deviazione da questi valori potrebbe influire negativamente sull’omogeneità termica. È consigliabile effettuare un breve test di collaudo per verificare il profilo termico del dispositivo e assicurarsi che i parametri di processo siano corretti.