Bulbo di riscaldamento a ioduro di quarzo per semiconduttori

Wed, 01 Jul 2026 06:12:09 +0800

Nelle linee di produzione, anche un piccolo errore di temperatura durante il processo di riscaldamento del photoresist può far sì che il profilo del materiale cambi di alcuni nanometri. In questo modo, il controllo delle dimensioni critiche diventa impossibile. I wafer rimangono in coda, gli strumenti non vengono utilizzati, e il “budget termico” previsto per il processo di riscaldamento viene vanificato.

Cosa è importante davvero
Creiamo bulbi di riscaldamento a base di quarzo per le fasi termiche dei semiconduttori; tali bulbi sono progettati per funzionare con onde infrarosse a breve lunghezza d’onda e per mantenere una buona stabilità termica. La geometria del filamento, unita al ciclo di funzionamento dell’halogeneo, garantisce una produzione costante nel tempo, così da permettere un controllo preciso della temperatura su tutto il wafer. In pratica, ciò significa che la uniformità della temperatura sul wafer è compresa tra ±0,1°C, con tempi di riscaldamento rapidi e temperature stabili durante i processi di riscaldamento del photoresist.

Cuarzo on Warm IR Heaters for Home

Bulbo di riscaldamento a ioduro di quarzo per semiconduttori