Riscaldatore per wafer di elettronica flessibile

Thu, 04 Jun 2026 00:35:03 +0800

Out on the line, una produzione di elettronica flessibile devia non appena la cottura del photoresist si discosta. Su un wafer da 300 mm, bastano pochi decimi di grado per sfocare le linewidth, e non lo si nota finché la metrologia non segnala il lotto—a quel punto è già scarto. Ciò che serve è un calore su cui poter contare: una temperatura che rispetti esattamente la ricetta, su tutto il substrato.

What matters, technically
Abbiamo progettato questo riscaldatore per wafer attorno a un controllo termico di qualità semiconduttore. Il nucleo mantiene una uniformità di ±0.1°C sull’area attiva, così ogni die riceve lo stesso budget termico. La camera è compatibile con cleanroom da Classe 1 a Classe 100, con superfici selezionate per mantenere costante il conteggio delle particelle. Zero generazione di particelle non è uno slogan, ma un vincolo progettuale verificato in situ. La ripetibilità del setpoint è sufficientemente stretta da consentire il trasferimento dei profili di soft bake e hard bake da un lotto all’altro senza necessità di ritaratura.

Flessibile on Warm IR Heaters for Home

Riscaldatore per wafer di elettronica flessibile