ヒーターと戦うのはやめましょう：なぜモジュラー設計が重要なのか 屋外用ヒーターの現実として、筐体自体は永く使えますが、加熱素子は結局いつか壊れてしまいます。これは物理法則によるものです。IP55等級のヒーターを使用する場合、そのヒーターはほこりや雨、湿度といった悪影響を受けやすくなります。5年も経...

リソグラフィー工程において、フォトレジストの加熱処理は単なるウォームアップではありません。これは重要な熱管理のプロセスです。もし、緩やかな加熱や強制的な加熱の温度が1度や2度でもずれてしまうと、重要な寸法精度が失われてしまいます。さらに、粒子の発生が加わると、全てが台無しになってしまいます。再現性...