ファブを清潔に保つための秘訣：熱に関する真実 もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな破片やガスが発生するだけで、製品の品質が大幅に低下してしまいます。 ほとんどの加熱要素は、このような状況には適していません。コーティングが剥がれたり、筐体...

デジタル時代におけるファブの適切な加熱方法 スマートファブを構築する際、従来の加熱方法ではもはや不十分だと気づくでしょう。ウェハーを加熱するためには、高効率な赤外線システムを使用するのが最善です。その理由は単純で、高速に加熱できるからです。 すべてがデータ駆動型の世界では、加熱要素は単に熱を放出す...

汚れを起こさずにウェーハを乾燥させる方法 もし、クラス100の清浄室を運営しているなら、粒子が飛び散ってしまうという悩みはよく知っているでしょう。安価なヒーターから出る微小な破片や、品質の低いランプから出るガスだけで、ウェーハが破損してしまいます。その結果、生産効率が低下し、大変な事態になります。...

冬が来ると、電気代がその影響を反映します。従来の電気式オイルヒーターは一定量の電力を消費しますが、その熱のほとんどは空気を温めるために使われ、人間の体を温めるためにはあまり役立ちません。結果として、部屋が快適になる前に、すでに多くの電力が消費されてしまいます。 実際に重要なのは何か 私たちが開発し...

現代の生活では、必要なときにすぐに温かさを得られることが求められています―静かで、速く、部屋の空間を占有しないことが条件です。夜間に冷え込み、空間がその見た目と同様に整っている場合、かさばるヒーターは目立ちます。この新しい赤外線スペースヒーターはその現実に対応するために設計されました。すっきりとし...