http://warm-ir-heater-home.com/ja/tags/%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%9E%E3%83%BC/ Recent content in タイマー on Warm IR Heaters for Home Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 02:24:02 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/timer-for-wafer-drying-oven/ Mon, 08 Jun 2026 02:24:02 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/timer-for-wafer-drying-oven/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウエハ乾燥炉のタイマー"></p> <p><a href="https://o-yate.com">洗浄浴槽</a>から出てきたウェーハにはDI水の膜が付着している。乾燥炉はフォトレジストを焼き切ることなく、また粒子を飛散させることなく、その水分を除去しなければならない。タイマーがずれると滞留時間が変動し、それが生産ライン上で歩留まりの低下として現れる。そこで、ウェーハ乾燥炉用にプロセスの信頼性を維持するタイマーを開発した。</p> <p><strong>技術的に必要な機能</strong><br> このタイマーは半導体熱工程用の装置である。タイミング精度は0.1%、繰返し精度は±10 msを達成している。24 VDC電源とPLCインターロックに対応し、炉制御ループに直接接続可能。IP54相当の防塵防水性能を備え、洗浄エリアの湿潤かつ化学物質濃度の高い環境に耐える。クリーンルーム適合の構造と低アウトガス材料を用い、経過時間とサイクル完了の表示を備えるため、状況の判断に迷いがない。インターフェースは<a href="https://henruite.com">意図的</a>にシンプルに設計されており、設定・開始・<a href="https://goldisgood.com">確認</a>の3操作で完結する。</p>