http://warm-ir-heater-home.com/ja/tags/%E4%B9%BE%E7%87%A5/ Recent content in 乾燥 on Warm IR Heaters for Home Hugo ja Fri, 17 Jul 2026 01:46:49 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Fri, 17 Jul 2026 01:46:49 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="工場乾燥設備のエネルギー診断"></p> <p>汚れを起こさずにウェーハを乾燥させる方法<br> もし、クラス100の清浄室を運営しているなら、粒子が飛び散ってしまうという悩みはよく知っているでしょう。<a href="https://o-yate.net">安価</a>なヒーターから出る微小な破片や、品質の低いランプから出るガスだけで、ウェーハが破損してしまいます。その結果、生産効率が低下し、大変な事態になります。</p> <p>だからこそ、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。これにより、常に清潔な状態を保つことができます。</p> http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 16 Jul 2026 01:13:51 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>なぜMEMSウェーハの乾燥にはIR加熱がホットエアより優れているのか<br> もしまだMEMSセンサーのウェーハを乾燥させるためにホットエアを使用しているなら、単に待つだけで多くの<a href="https://o-yate.com">時間</a>を浪費していることになります。これは大きなボトルネックです。</p> http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/deionized-water-drying-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 18:39:11 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/deionized-water-drying-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="脱イオン水用乾燥ランプ"></p> <p>ファブの現場では、リソグラフィーの後に発生するわずかな水分が大きな問題を引き起こすことがあります。従来の乾燥方法では温度が不安定であり、粒子が熱い表面から直接フィルム内に入ってしまいます。私たちは、そのような不確実性を<a href="https://o-yate.net">排除</a>するために脱イオン水を用いた乾燥装置を開発しました。短波長の赤外線が水膜に素早く当たり、表面を加熱しますが、レジストの耐熱限界を超えることはありません。これにより、ウエハーがきれいに乾燥し、ソフトベイクやハードベイクも厳格な温度管理のもとで行われます。</p> http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/timer-for-wafer-drying-oven/ Mon, 08 Jun 2026 02:24:02 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/timer-for-wafer-drying-oven/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウエハ乾燥炉のタイマー"></p> <p><a href="https://o-yate.com">洗浄浴槽</a>から出てきたウェーハにはDI水の膜が付着している。乾燥炉はフォトレジストを焼き切ることなく、また粒子を飛散させることなく、その水分を除去しなければならない。タイマーがずれると滞留時間が変動し、それが生産ライン上で歩留まりの低下として現れる。そこで、ウェーハ乾燥炉用にプロセスの信頼性を維持するタイマーを開発した。</p> <p><strong>技術的に必要な機能</strong><br> このタイマーは半導体熱工程用の装置である。タイミング精度は0.1%、繰返し精度は±10 msを達成している。24 VDC電源とPLCインターロックに対応し、炉制御ループに直接接続可能。IP54相当の防塵防水性能を備え、洗浄エリアの湿潤かつ化学物質濃度の高い環境に耐える。クリーンルーム適合の構造と低アウトガス材料を用い、経過時間とサイクル完了の表示を備えるため、状況の判断に迷いがない。インターフェースは<a href="https://henruite.com">意図的</a>にシンプルに設計されており、設定・開始・<a href="https://goldisgood.com">確認</a>の3操作で完結する。</p>