http://warm-ir-heater-home.com/ja/tags/%E6%8A%95%E7%A8%BF/ Recent content in 投稿 on Warm IR Heaters for Home Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="露光後ベーク PEB ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程において、PEBステップではウェハの線幅を正確に制御する必要があります。ウェハ上の温度を0.5°Cだけ変化させるだけで、何週間もかけて調整しなければならないバイアスが生じてしまいます。このポストエクスポージャーベイクヒーターを使えば、そのような不確定要素を排除できます。</p>