ウェーハを加熱する際の熱や不安定さへの対処法 化学的な洗浄処理を行う際、単に所定の温度に到達させるだけでは不十分です。実際には、リスクを管理する必要があります。 正直言って、これらの洗剤の多くは可燃性があります。中には、実際に爆発するものもあります。もし、開放型の赤外線ランプをその蒸気の近くに置い...

赤外線ヒーターを早く壊れないようにするための対策 もし、冬の途中で屋外用ヒーターが使えなくなってしまった経験があるなら、どれほど厄介かお分かりでしょう。通常、これは単なる偶然ではありません。実際の原因は湿気や結露です。 水蒸気が非常に熱い石英管に当たると、「熱衝撃」が発生します。さらに悪いことに、...