더 이상 에어 히터를 기다리지 마세요: IR과 석영의 놀라운 효과 솔직히 말해서, 공기가 따뜻해질 때까지 기다리는 것은 정말 지루한 일입니다. 반도체 제조 공장에서는 그 몇 초간의 “대기 시간”이 누적되면서 전체 작업 속도가 저하됩니다. 그래서 우리는 단파 적외선...

제조 현장에서는, 소프트 베이크 과정에서 단 0.5도만의 오차가 생겨도 포토레지스트의 프로파일이 나노미터 단위로 변동할 수 있습니다. 그러면 치명적인 크기 제어 문제가 발생하게 됩니다. 웨이퍼들은 대기 상태에 놓이고, 장비들은 아무런 작업도 할 수 없게 되며, 예상했...