http://warm-ir-heater-home.com/ko/tags/%ED%83%88%EC%9D%B4%EC%98%A8%ED%99%94%EB%90%9C/ Recent content in 탈이온화된 on Warm IR Heaters for Home Hugo ko Mon, 22 Jun 2026 18:39:11 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ko/posts/deionized-water-drying-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 18:39:11 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ko/posts/deionized-water-drying-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="탈이온수 건조 램프"></p> <p>팹에서는 리소그래피 공정 이후에 단 하나의 물방울만으로도 많은 문제가 발생할 수 있습니다. 기존의 건조 방식에서는 온도가 변동하고, 입자들이 뜨거운 표면에서 직접 필름 속으로 들어갑니다. 우리는 그러한 변동성을 없애기 위해 탈이온수를 사용하는 건조 장치를 만들었습니다. 단파 적외선은 물막을 빠르게 가열하지만, 포토레지스트의 온도를 초과하지 않습니다. 이를 통해 웨이퍼를 깨끗하게 건조시킬 수 있으며, 부드러운 건조 및 강력한 건조 과정도 엄격한 온도 제어 하에 이루어집니다.</p>