Di fasiliti pengeluaran, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran bahan fotorezist sudah cukup untuk memusnahkan keseluruhan kumpulan wafer yang dihasilkan. Wafer-wafer tersebut tidak dapat digunakan lagi, alat-alat pula menjadi tidak efektif, dan jadual pengeluaran terganggu. Kami telah mencipta pemanas wafer silikon fotovoltaik ini untuk mengurangkan variasi suhu tersebut.
Yang penting dalam reka bentuk pemanas ini ialah penggunaan pemancar gelombang inframerah pendek dalam sistem haba yang diperkuat dengan kuarsa. Ini membolehkan suhu pada permukaan wafer kekal seragam dalam lingkungan ±0.1°C di seluruh kawasan yang aktif. Suhu akan mencapai nilai yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja, dan sistem kawalan berkelajuan tinggi memastikan suhu tetap stabil semasa proses pembakaran. Pemanas ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, kerana reka bentuknya memastikan pelepasan partikel hampir sifar. Badan pemanas dan komponennya direka agar tahan terhadap proses pembersihan berulang tanpa menyebabkan pelepasan gas. Kepadatan tenaga yang digunakan disesuaikan dengan jenis substrat yang digunakan, dan antaramuka pemanas menggunakan sambungan mekanikal dan elektrik standard, sehingga ia boleh digunakan bersama-sama dengan sistem coating/pembakaran yang ada.
Kejayaan proses litografi bergantung pada profil pembakaran yang konsisten. Keseragaman suhu yang tinggi dan masa penstabilan yang cepat dapat mengurangkan variasi lebar jalur pada wafer, meningkatkan daya lekat antara lapisan-lapisan wafer, serta mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja semula. Dengan cara ini, kadar pengeluaran yang baik dapat dicapai, dan keperluan untuk ujian berkala juga berkurangan. Pemanas ini beroperasi 24/7 dengan jadual penyelenggaraan yang tetap, sehingga masa henti yang tidak dirancang dapat dikurangkan. Penggunaan tenaga juga dikurangkan kerana respons yang cepat dan massa haba yang rendah, yang seterusnya mengurangkan penggunaan tenaga semasa waktu tunggu dan proses penyejukan.
Pemasangan pemanas ini memerlukan permukaan pemasangan yang stabil dan rata, serta sistem penyejukan yang efektif agar suhu dapat dipertahankan dalam jangka masa yang panjang. Pemanas ini berfungsi pada voltan yang ditetapkan, dan perlu disesuaikan dengan julat kalibrasi kawalan. Kesalahan kabel boleh menyebabkan perbezaan suhu yang kecil. Adalah penting untuk melakukan ujian awal untuk menentukan prestasi pemanas dalam persekitaran khusus anda.