Op de productieafdeling is een temperatuurverschil van 0,5°C tijdens het bakken van de fotorezist voldoende om een hele lading producten te verpesten. De wafers blijven ongebruikt liggen, de gereedschappen staan stil en de productieplanning wordt verstoord. We hebben een speciaal apparaat ontwikkeld om deze variabiliteit uit te sluiten.
Wat belangrijk is, zijn de korte-golf-infraroodemitters die worden gebruikt in een thermisch systeem dat is gebaseerd op kwarts. Hierdoor wordt er een temperatuurniveau behaald van ±0,1°C over de gehele actieve oppervlakte van de wafer. De temperatuur bereikt snel zijn stabiele waarde, en het gesloten controlesysteem zorgt ervoor dat de temperatuur constant blijft tijdens elke behandeling. Het apparaat is compatibel met Cleanroom Class 1–100, dankzij een ontwerp waarbij de emissies tot bijna nul worden gereduceerd. Het apparaat kan meerdere keren worden gereinigd zonder dat er gasontwikkeling optreedt. De vermogensdichtheid is aangepast aan het type substraat, en de interfaces maken gebruik van standaard mechanische en elektrische verbindingen, zodat het apparaat gemakkelijk kan worden geïntegreerd in bestaande productielijnen.
De kwaliteit van de lithografie hangt af van reproduceerbare bakprocedures. Een hoge uniformiteit en snelle temperatuurrustiging zorgen voor minder variatie in de lijndikte, betere hechting en minder herwerkzaamheden. Hierdoor wordt de opbrengst per productiecyclus verbeterd en zijn er minder problemen met de kwaliteitscontrole. Het apparaat werkt 24/7, met regelmatige onderhoudsintervallen, waardoor onverwachte stilstanden worden voorkomen. De energieverbruik wordt verminderd door de snelle respons en de lage thermische massa, waardoor er minder energie wordt verbruikt tijdens het koelen.
Voor een goede installatie is het nodig dat er een stabiele, vlakke montageoppervlak is, en dat er voldoende koeling is om de gewenste temperatuur te behouden. Het apparaat moet werken bij de vereiste spanning en moet goed passen binnen het kalibratiebereik van de controller. Onjuiste aansluitingen kunnen kleine fouten veroorzaken. Plan een korte testperiode om de werking van het apparaat te controleren en de prestaties in uw specifieke omgeving te bepalen.