http://warm-ir-heater-home.com/nl/tags/uitstelling-blootstelling/ Recent content in Uitstelling; Blootstelling on Warm IR Heaters for Home Hugo nl Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/nl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/nl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Hitzerverwarmer voor na expositie bakken (PEB)"></p> <p>Op de lithografielijn is de PEB-stap cruciaal: hier bepaal je de dikte van de lijnen die worden afgedrukt. Als je de temperatuur met 0,5°C verandert, zal dit tot fouten leiden die je wekenlang moet proberen te corrigeren. We hebben deze Post Exposure Bake-heater ontwikkeld om deze variabelen uit te sluiten.</p> <p><strong>Wat belangrijk is onder het oppervlak</strong><br> Het hart van de heater bestaat uit een array van kwarts-halogeen-emitters voor kortegolflengte-verwarming, gecombineerd met een gesloten regelsysteem. Op een 300 mm grote wafer blijft de thermische uniformiteit binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid tussen verschillende loten blijft binnen ±0,2°C, zodat het activeringsproces van de fotoresistent consistent blijft. De materialen van de chamber voldoen aan de vereisten voor een schoonheidsklasse van 1–100. De geometrie van de heater zorgt er ook voor dat er geen turbulentie optreedt, zodat er geen deeltjes worden geproduceerd tijdens het proces. Je krijgt stabiele temperatuurniveaus tussen 90°C en 150°C, met een snelheid van 10°C/s. Bovendien wordt voorkomen dat er hete punten ontstaan op het werkoppervlak.</p>