Timer voor wafer droogoven
Out of the cleaning bath, a wafer comes with a skin of DI water. De droogoven moet dat vocht verwijderen zonder de photoresist te beschadigen of...
Flexibele elektronische waferverwarmer
Out on the line, een flexibele elektronica-run gaat verkeerd op het moment dat de fotoresist-bak verschuift. Over de 300 mm wafer is een paar tienden...