Timer voor wafer droogoven

Mon, 08 Jun 2026 02:24:02 +0800

Out of the cleaning bath, a wafer comes with a skin of DI water. De droogoven moet dat vocht verwijderen zonder de photoresist te beschadigen of deeltjes op te laten zweven. Als de timer afwijkt, verschuift de verblijftijd—en dat uit zich op de productielijn als een opbrengstverlies. Daarom hebben we een timer ontwikkeld voor wafer-droogovens die het proces controleert.

Wat het technisch moet doen
Deze timer is bedoeld voor thermische apparatuur in de halfgeleiderindustrie. De nauwkeurigheid van de timing bedraagt 0,1%, met een herhaalbaarheid van ±10 ms. Hij wordt direct aangesloten op de besturingslussen van de oven, werkt op 24 VDC met PLC-interlocks en heeft een IP54-classificatie, geschikt voor de vochtige en chemisch belastte omgeving rond reinigingsstations. Constructie geschikt voor cleanroomomgevingen, materialen met lage uitgassing en een display dat zowel verstreken tijd als het einde van de cyclus toont—zonder giswerk. De interface is bewust eenvoudig gehouden: instellen, starten, bevestigen.

Flexibele elektronische waferverwarmer

Thu, 04 Jun 2026 00:35:03 +0800

Out on the line, een flexibele elektronica-run gaat verkeerd op het moment dat de fotoresist-bak verschuift. Over de 300 mm wafer is een paar tienden van een graad alles wat nodig is om lijnbreedtes te vervagen, en je merkt het pas op wanneer de meetapparatuur de partij signaleert—tegen die tijd is het al afval. Wat je nodig hebt, is warmte waarop je kunt vertrouwen: temperatuur die precies de receptuur volgt, over het hele substraat.

Wat technisch van belang is
We hebben deze waferverwarmer gebouwd rond thermische controle van halfgeleiderkwaliteit. De kern heeft een uniformiteit van ±0,1°C over de actieve zone, zodat elke chip hetzelfde thermische budget krijgt. De kamer is compatibel met schone ruimtes van Klasse 1 tot Klasse 100, met oppervlakken die zijn gekozen om het deeltjesaantal laag te houden. Nul deeltjesgeneratie is geen slogan—het is een ontwerpeis, ter plaatse geverifieerd. En de herhaalbaarheid van de setpoint is strak genoeg zodat de soft bake en hard bake profielen van partij naar partij worden overgedragen zonder opnieuw af te stemmen.

Wafer on Warm IR Heaters for Home

Timer voor wafer droogoven

Flexibele elektronische waferverwarmer