Na linii litograficznej proces suszenia fotorezystu nie jest jedynie fazą rozgrzewki – to kluczowy element całego procesu. Jeśli temperatura podczas suszenia wzrośnie choćby o jeden lub dwa stopnie, to tolerancje wymiarów elementów mogą ulec pogorszeniu. Dodatkowo, jeśli do tego dojdzie jeszcze generowanie cząstek, cała produkcja może zostać zniszczona. Potrzebny jest źródło promieniowania podczerwonego, które zapewnia stałą temperaturę – bez żadnych przypuszczeń.
Co jest technicznie istotne Stworzyliśmy lampę podczerwoną do suszenia fotorezystu na podstawie krótkofalowego promieniowania podczerwonego oraz szybkodziałających elementów kwarcowych, które dostarczają ciepło w ciągu zaledwie kilku sekund. System zapewnia jednolitość temperatury na powierzchni płytki elektronicznej na poziomie ±0,1°C, dzięki czemu każdy element płytki otrzymuje takie samo warunki suszenia. Kompatybilność z warunkami panującymi w salach o czystości klasy 1–100 jest gwarantowana dzięki użyciu materiałów o niskiej ilości emisji gazów oraz specjalnej geometrii, która minimalizuje powstawanie cząstek. Brak generowania cząstek to nie tylko hasło – realizujemy to poprzez użycie kontrolowanych materiałów oraz szczelnego układu grzewczego. Lampa pracuje 24/7 bez żadnych przerw, a jej wydajność pozostaje na wysokim poziomie przez ponad 5 000 godzin.
Dlaczego to działa w praktyce Lampa precyzyjnie kontroluje proces suszenia fotorezystu. Szybko podnosi temperaturę płytki, a potem utrzymuje ją na tym poziomie. Dzięki temu proces suszenia jest bardziej powtarzalny, a ilość odpadów maleje. Wysoka jednolitość temperatury zmniejsza liczbę defektów na krawędziach pola suszenia, a szybka reakcja termiczna skraca czas suszenia bez utraty kontroli nad parametrami procesu. Zużycie energii jest mniejsze, ponieważ lampa nagrzewa się i chłodzi szybko, a mniej wymian lamp oznacza mniej przerw w produkcji.
Co należy wiedzieć wcześniej Instalacja lampy wymaga dopasowania geometrii reflektora i otworów do urządzenia do nakładania materiału na płytkę, a także połączenia lampy z systemem kontrolingu temperatury w piecu. Przed modernizacją należy sprawdzić kompatybilność napięcia i złączy z interfejsem producenta. Pamiętaj o krótkim czasie stabilizacji systemu po uruchomieniu z zimnego stanu. Planując proces suszenia, uwzględnij to, aby mieć pewność, że proces odbywa się w wymaganych warunkach.