Na stanowisku litograficznym krok PEB służy do ustalenia właściwych rozmiarów linii na płytkach krzemowych. Jeśli zmienisz temperaturę o 0,5°C, powstanie błąd, który będzie wymagał kilku tygodni na jego usunięcie. Stworzyliśmy ten grzałkę do procesu post-exposure bake, aby eliminować tę zmienność.
Co jest najważniejsze? Jądro urządzenia stanowi układ emiterów krótkofalowych typu kwarc-halogen, połączony z systemem sterowania typu zamkniętego obwodu. Na płytce o rozmiarze 300 mm jednolitość temperatury wynosi ±0,1°C. Powtarzalność wyników pomiędzy różnymi partiami produktów mieści się w przedziale ±0,2°C, dzięki czemu profil aktywacji fotorezystu nie ulega zmianom. Materiały użyte do budowy pomieszczenia są odpowiednie dla warunków klasy 1–100, a geometria grzałki zapewnia minimalną ilość turbulencji, więc liczba cząstek powstających podczas procesu pieczenia jest bliska zeru. Można uzyskać stabilne wartości temperatury w zakresie od 90°C do 150°C, a tempo wzrostu temperatury może osiągać 10°C/s. Ponadto konstrukcja urządzenia zapobiega powstawaniu gorących punktów na powierzchni płytki.
Błąd temperatury w procesie PEB przekłada się bezpośrednio na błąd CD oraz spadek wydajności produkcji. Dzięki temu grzałce profile procesów soft bake i hard bake są realizowane zgodnie z planem, a nie według decyzji samego urządzenia. Efektem jest mniej odpadów, lepsza rozkładność parametrów na kluczowych warstwach krzemowych oraz szybsze cykle testowe.
Ponadto oszczędzasz energię, ponieważ źródło krótkofalowej energii ogrzewa sam cel, a nie otoczenie. Niska masa cieplna skraca czas przejścia z trybu spoczynku do trybu pracy. Urządzenie nadaje się do ciągłej pracy 24/7, a konserwacja może być planowana według określonego harmonogramu.
Co potrzebujesz, aby to uruchomić? Grzałka funkcjonuje przy użyciu standardowych interfejsów FOUP i SEMI, ale wymaga dedykowanego kabla sterującego o napięciu 24 V oraz czystego, suchego powietrza, aby proces oczyszczania okna pomieszczenia był skuteczny. Podczas instalacji należy przeznaczyć 30 minut na kalibrację i sprawdzenie jednolitości temperatury. Później należy codziennie sprawdzać jednolitość temperatury za pomocą skalibrowanej płytki krzemowej.
Jeśli znajdujesz się w pomieszczeniu o wysokiej wilgotności, sprawdź szybkość przepływu powietrza. W przeciwnym razie kondensacja może zakłócić działanie promieniowania podczerwonego, co doprowadzi do małych, powtarzalnych błędów.