Fábrica de lâmpadas de cura por infravermelho certificadas

Thu, 23 Jul 2026 09:25:06 +0800

Como obter mais calor nas suas pastilhas sem desperdiçar energia
Quando se trabalha em fábricas de semicondutores, o objetivo é bem claro: quer-se que o máximo possível de energia térmica atinja a superfície da pastilha, e não se quer perder nem um único watt de energia.

O problema com as lâmpadas de quartzo convencionais é que elas emitem calor em todas as direções. Se não houver um refletor, metade da energia é desperdiçada, aquecendo apenas o chassi da máquina. É um desperdício.

Refletor para lâmpada de cura de wafer

Sun, 07 Jun 2026 01:02:00 +0800

No chão de fábrica, a queima do photoresist não é apenas mais uma etapa térmica — é seu orçamento térmico. Desviar meio grau do alvo já causa deriva na dimensão crítica e perda de rendimento, lote após lote. Esse orçamento é aplicado no ponto onde o calor é moldado: o refletor na lâmpada de cura da pastilha.

O que importa, tecnicamente
Construímos o refletor para coincidir com o espectro das fontes halógenas e de IR de onda curta, de modo que a energia incida onde deve — na pastilha — sem espalhar calor residual para a óptica e as estapas. O acabamento de superfície e a geometria são rigorosamente controlados para que a zona de queima alcance uniformidade de temperatura ao nível da pastilha dentro de ±0,1°C. O substrato é de quartzo ultra puro ou cerâmica de alta qualidade, escolhido especificamente por sua baixa emissão de gases e zero desprendimento de partículas. Em salas limpas classe 1–100, mantém a geração de partículas abaixo da especificação, garantindo que o ambiente de litografia permaneça limpo.

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Fábrica de lâmpadas de cura por infravermelho certificadas

Refletor para lâmpada de cura de wafer