Как получить больше тепла на поверхность пластинок (без напрасной траты энергии)
В производстве полупроводников цель довольно проста: необходимо, чтобы как можно больше тепловой энергии попадало на поверхность пластинок, при этом нельзя тратить ни одного ватта зря.
Проблема с обычными кварцевыми лампами заключается в том, что они излучают тепло во все стороны. Если у вас нет рефлектора, половина энергии тратится на нагрев самого корпуса устройства. Это является пустой тратой ресурсов.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы с золотым покрытием.
Почему именно золото?
Дело не в красоте. Золото отлично отражает инфракрасное излучение — гораздо лучше, чем алюминий или отполированная сталь. Мы наносим тонкий слой золота на заднюю часть кварцевого корпуса лампы; это заставляет фотоны отклоняться и направляться прямо на цель.
Результат? Интенсивность теплового излучения на поверхности пластинок удваивается. Таким образом можно добиться высокой плотности тепла без необходимости увеличивать мощность лампы.
Недостатки
Есть один недостаток: при такой концентрации энергии корпус лампы сильно нагружается. Мы заметили, что хотя золотое покрытие повышает эффективность лампы, оно также увеличивает нагрузку на уплотнения лампы. Необходимо убедиться, что вентиляторы способны справляться с дополнительным теплом в камере. Если поток воздуха слабый, лампы будут разрушаться гораздо быстрее, чем следует.
Эффективность в производственных процессах
Эти лампы предназначены для замены существующих ламп. Они сработают в любых существующих производственных линиях.
Секрет заключается в фокусном расстоянии. Мы стремимся к тому, чтобы «точка нагрева» попадала точно в центр пластинки. Если крепление лампы будет даже немного смещено, распределение энергии изменится, и процесс отверждения будет неравномерным. Это не приведет к хорошему результату.
Мы производим эти лампы для условий, где простой оборудования — серьезная проблема. Благодаря им достигается более точное распределение тепла, а время подготовки к работе значительно сокращается.
Еще один совет: нужно сохранять поверхность золота в чистоте. Даже небольшое загрязнение или окисление на рефлекторе может сразу снизить эффективность лампы.