http://warm-ir-heater-home.com/ru/tags/%D1%80%D0%B0%D0%B7%D0%BE%D0%B1%D0%BB%D0%B0%D1%87%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5/ Recent content in Разоблачение on Warm IR Heaters for Home Hugo ru Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Нагреватель для выпечки после облучения (PEB)"></p> <p>На этапе литографии процесс PEB позволяет точно контролировать ширину линий на пластине. Если изменить температуру на 0,5°C, это приведет к появлению ошибок в параметрах обработки пластины, с которыми придется бороться в течение недель. Мы разработали специальный нагреватель для устранения этих ошибок.</p> <p><strong>Что имеет значение внутри устройства</strong><br> В основе устройства лежит массив кварцевых галогенных излучателей коротковолнового диапазона, работающих в сочетании с системой замкнутого управления. На пластине размером 300 мм температурное равномерие сохраняется в пределах ±0,1°C. Повторяемость результатов при обработке разных партий пластин также остается в пределах ±0,2°C, что гарантирует стабильность параметров активации фоторезиста. Материалы, из которых сделано устройство, соответствуют стандартам чистых комнат класса 1–100. Геометрия нагревателя минимизирует возникновение турбуленций, что позволяет исключить образование частиц во время нагрева. Устройство обеспечивает стабильные значения температуры в диапазоне от 90°C до 150°C; скорость повышения температуры достигает 10°C/с. Кроме того, конструкция устройства предотвращает возникновение «горячих точек» на поверхности пластины.</p>