การรับมือกับความร้อนและความไม่แน่นอนในขั้นตอนการให้ความร้อนแก่แผ่นเวเฟอร์
เมื่อคุณให้ความร้อนกับแผ่นเวเฟอร์ในกระบวนการทำความสะอาดทางเคมี คุณไม่ได้ทำเพียงแค่ปรับอุณหภูมิให้ถึงเป้าหมายเท่านั้น แต่คุณยังต้องจัดการกับความเสี่ยงต่างๆ ด้วย
พูดตามตรงนะครับ สารเคมีที่ใช้ในการทำความสะอาดนั้นมีหลายชนิดที่เป็นสารติดไฟได้ง่าย บางชนิดก็ระเบิดได้เลยด้วยซ้ำ หากคุณวางหลอดอินฟราเรดไว้ใกล้กับไอสารเคมีเหล่านั้น ก็เท่ากับว่าคุณกำลังเรียกให้เกิดเพลิงไหม้ขึ้นมาเลย นั่นคือเหตุผลที่เราเลิกใช้หลอดอินฟราเรดแบบเปิด แล้วหันมาใช้ระบบอินฟราเรดแบบปิดแทน มันเป็นวิธีที่สมเหตุสมผลที่สุดครับ.
เรื่องระยะห่างด้านความปลอดภัย
ระยะห่างด้านความปลอดภัยไม่ใช่ตัวเลขที่เราเลือกมาแบบสุ่มหรอกครับ มันคือระยะห่างที่จำเป็นเพื่อให้ส่วนประกอบอื่นๆ รอบๆ หลอดอินฟราเรดมีอุณหภูมิที่เย็นพอ จนไม่ก่อให้เกิดการติดไฟได้ เราคำนวณระยะห่างนี้จากกำลังไฟของหลอดอินฟราเรด และวิธีการระบายความร้อนของตัวเครื่อง
ปัญหาก็คือ หากคุณวางหลอดอินฟราเรดไว้ใกล้กับแผ่นเวเฟอร์หรือผนังห้องมากเกินไป ก็จะทำให้เกิดปัญหา “ความร้อนสะสม” ส่วนประกอบอื่นๆ รอบๆ ก็จะร้อนมากเกินไป และนั่นก็จะทำให้ไอสารเคมีกลายเป็นอันตรายได้ คุณจำเป็นต้องมีระยะห่างเพียงพอเพื่อให้อากาศไหลเวียนได้ หรือมีระบบระบายความร้อนที่ดีพอ เพื่อให้ความร้อนถูกระบายออกไปก่อนที่สถานการณ์จะเลวร้ายลง.
เหตุผลที่เราต้องปิดหลอดอินฟราเรดไว้
เราไม่ได้ปล่อยหลอดอินฟราเรดไว้แบบเปิดๆ หรอกครับ หลอดอินฟราเรดของเราถูกจัดเก็บไว้ในตัวเครื่องที่ปิดสนิทและทนทานต่อสารเคมี
ลองคิดภาพว่ามันเป็นกำแพงที่กั้นระหว่างองค์ประกอบที่ให้ความร้อนกับสารเคมีที่อาจก่อให้เกิดอันตราย เราใช้วัสดุที่มีคุณภาพสูงในการปิดหลอดอินฟราเรด เพราะถ้าสารเคมีรั่วเข้ามาในตัวเครื่อง ก็จะเกิดปัญหาใหญ่ได้ อาจทำให้หลอดควอตซ์แตก หรือเกิดปัญหาทางไฟฟ้าได้ มันไม่ใช่เรื่องดีเลยครับ.
ข้อเสียของการใช้วิธีนี้
แน่นอนว่าการมีกำแพงกั้นระหว่างหลอดอินฟราเรดกับแผ่นเวเฟอร์ก็มีข้อเสียเหมือนกัน นั่นก็คือคุณจะสูญเสียพลังงานรังสีไปบ้าง แม้จะไม่มากนัก แต่ก็มีอยู่จริง
เพื่อชดเชยส่วนที่สูญเสียไป คุณอาจต้องเพิ่มกำลังไฟของหลอดอินฟราเรด หรือให้แผ่นเวเฟอร์อยู่ในสภาพนั้นนานขึ้น เพื่อให้ได้อุณหภูมิตามเป้าหมาย แต่อย่าลืมว่าแหล่งจ่ายไฟของคุณต้องสามารถรองรับภาระเพิ่มเติมนี้ได้ด้วย มันเป็นราคาเล็กน้อยที่ต้องจ่ายเพื่อไม่ให้ห้องทดลองของคุณกลายเป็นกองเถ้าถ่านไปเลยครับ.