การรักษาความปลอดภัย: เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในกระบวนการทำความสะอาดสารเคมี
เมื่อคุณทำงานเกี่ยวกับการทำความสะอาดชิป半导体 คุณก็เหมือนกำลังทำงานกับสารละลายที่มีความไวต่อการระเบิด และไอระเหยที่ก่อให้เกิดไฟได้ แค่มีประกายไฟเพียงเล็กน้อย หรือมีรอยแตกเล็กๆ ในอุปกรณ์ทำความร้อน ก็อาจก่อให้เกิดปัญหาใหญ่ได้ ซึ่งเป็นเรื่องที่น่ากังวลมาก
นั่นคือเหตุผลว่าทำไมเราถึงไม่สร้างเครื่องทำความร้อนธรรมดาๆ เราสร้างเครื่องทำความร้อนที่มีความทนทานสูงเพื่อรับมือกับสถานการณ์เหล่านี้
เปลือกป้องกัน
เราไม่ปล่อยให้ท่อควอตซ์อยู่ในสภาพเปลือยเปล่า เพราะนั่นจะก่อให้เกิดปัญหาได้ เราจึงห่อหุ้มทุกอย่างไว้อย่างแน่นหนา เพื่อให้ก๊าซที่ก่อให้เกิดไฟได้ไม่เข้ามาใกล้เส้นลวดที่ร้อนและขั้วไฟฟ้า
ขึ้นอยู่กับความรุนแรงของสารเคมีที่ใช้ในการทำความสะอาด เราอาจใช้ท่อควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง หรือวัสดุเซรามิกที่แข็งแรงมาใช้แทน วัสดุเหล่านี้จะทำหน้าที่เหมือนเกราะป้องกัน หากมีการรั่วไหลของสารเคมีเกิดขึ้น ของเหลวจะกระทบกับท่อควอตซ์ ไม่ใช่กับส่วนที่มีไฟฟ้าอยู่ นี่เป็นวิธีง่ายๆ ที่ช่วยป้องกันความเสียหายได้
การรักษาอุณหภูมิให้คงที่
เพื่อไม่ให้อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงอย่างรุนแรง เราจึงติดตั้งเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิไว้ในอุปกรณ์ทำความร้อน เซ็นเซอร์เหล่านี้จะวัดอุณหภูมิได้แบบเรียลไทม์
เราใช้สายไฟที่มีฉนวนกันความร้อนสำหรับเซ็นเซอร์เหล่านี้ เพราะสายไฟธรรมดาจะละลายหรือเสื่อมสภาพเมื่อสัมผัสกับก๊าซเหล่านั้น ดังนั้นคุณจึงสามารถไว้วางใจในระบบควบคุมอุณหภูมิได้ คุณจะได้อุณหภูมิที่คงที่และน่าเชื่อถือ โดยไม่ต้องกังวลว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงไปมา
ข้อเสียของการป้องกัน
อย่างไรก็ตาม การมีชั้นป้องกันนี้ก็ทำให้เกิดช่องว่างทางความร้อนขึ้นเล็กน้อย คุณจะสูญเสียความร้อนที่แผ่ออกมาโดยตรงเล็กน้อย เมื่อเทียบกับการใช้หลอดไฟธรรมดา
เพื่อชดเชยสิ่งนี้ เราจึงเพิ่มกำลังไฟขึ้นอีกนิด คุณจะยังคงได้อุณหภูมิตามที่ต้องการ แต่ก็ควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าระบบระบายความร้อนสามารถรับมือกับความร้อนที่เพิ่มขึ้นได้
เราสร้างอุปกรณ์เหล่านี้ขึ้นมาเพื่อรับมือกับสถานการณ์ที่ยากลำบาก แค่ใช้ควบคุมอุณหภูมิที่มีการป้องกันการระเบิดที่ดี คุณก็สามารถใช้งานอุปกรณ์เหล่านี้ได้อย่างสบายใจ แม้จะอยู่ในบริเวณที่มีไอระเหยมากก็ตาม