Fırınınızı beklemeyi bırakın: Yarı iletken işlemlerinde neden kızılötesi ışınlar zorunlu hava akışından daha üstündür?
Eğer bir yarı iletken laboratuvarında zaman geçirdiyseniz, sıcak havanın dolaşmasını beklemenin ne kadar sinir bozucu olduğunu biliyorsunuzdur. Bu süreç oldukça yavaştır. Zorunlu hava akışı yönteminde öncelikle hava ısıtılır, ardından oda ısınır ve sonunda –eğer şanslıysanız– yüzey ısınır. Bu oldukça yavaş bir süreçtir ve yüksek basınçlı üretim ortamlarında bu gecikme adeta sonsuzluk gibi gelir.
İşte burada temiz oda tipi kızılötesi lambalar devreye giriyor. Tüm odayı ısıtmak yerine, kızılötesi lambalar enerjiyi doğrudan hedef alana yönlendirir.
Bu tamamen farklı bir deneyimdir.
Konveksiyon fırınlarından kızılötesi lambalara geçtiğinizde, artık tüm hava hacmini değil, sadece yüzeyi hedef alırsınız. Bu lambalar saniyeler içinde çalışma sıcaklığına ulaşır. Artık “ısıtma sürecinin” bitmesini beklemek zorunda kalmazsınız. Ekip için bu, her bir wafer üzerinde harcanan zamanın azalması anlamına gelir. Daha hızlı işlem yapabilir, daha az zaman harcarsınız ve işler daha hızlı ilerler.
Ancak bir dezavantajı da vardır.
Bu lambalar küçük bir alanda büyük miktarda ısı ürettiğinden, yoğun bir ısı oluşur. Kızılötesi lambaları soğuk hava için tasarlanmış bir yere yerleştirmek ve en iyisini ummak yeterli değildir. HVAC sistemlerinizin ve egzoz sisteminizin bu yoğun ısıyı 처리 edebileceğinden emin olmalısınız; aksi takdirde bir sorunu başka bir sorunla değiştirmiş olursunuz.
Bir diğer faktör ise temizlik konusudur.
Fanlar aslında tozu hareket ettiren cihazlardır. Toz parçacıklarını etrafa savurlarlar ki bu da temiz odalarda kesinlikle istenmeyen bir durumdur. Kızılötesi lambalar ise hava hareketi yaratmaz. Sessiz ve temizdirler.
En büyük avantajlar, malzemelerin kurutulması, kurutma işlemleri ve gaz çıkarma aşamalarında görülür. Odanın “doyması” için beklemek yerine, kızılötesi lambalar malzemeye anında etki eder. Bu yöntem hem doğrudandır hem de hızlıdır. Kaliteyi bozmadan daha fazla wafer işlemek isteyen tesisler için bu genellikle ilk yapılan değişikliktir.