Ekipmanlarınızı Isıtmayı Bırakın: Yarı-İşleme Ekipmanlarında Isıyı Kontrol Emenin Daha İyi Bir Yolu
Eğer yarı iletken üretim tesislerinde çalıştıysanız bu sorunları biliyorsunuzdur. Bir wafer veya substratı belirli bir sıcaklığa getirmeniz gerekiyor; ancak makinenizin geri kalan kısımlarının fırına dönüşmesini istemiyorsunuz.
Standart ısıtıcılar aslında ampuller gibidir; ısıyı her yöne yayarlar. Bu enerjinin büyük bir kısmı makinenin duvarlarına çarpar. Sonuç olarak, makinenin dış yüzeyleri çok sıcak hale gelir ve soğutma sistemleri de bununla başa çıkmak için yoğun şekilde çalışmak zorunda kalır. Bu durum hem enerji israfıdır hem de herkes için sorun teşkil eder.
Çözüm, ısıyı her yöne yaymak yerine belirli bir yöne yönlendirmektir.
İşte burada yönlendirilebilir UHP (Ultra Yüksek Safiyetli) lambalar devreye girer. 360 derecelik ısı yayılımı yerine, reflektörler ve özel kaplamalar kullanılarak termal enerji dar ve odaklanmış bir ışın halinde yönlendirilir. Isı tam da gitmesi gereken yere gider ve orada kalır. Böylece makinenin dış yüzeyleri sıcak kalmaz ve soğutma sistemlerinin yükü de azalır.
Ancak bunları kullanırken dikkat edilmesi gereken bazı noktalar vardır. İnce yapılarına rağmen çok fazla güç ürettikleri için yüksek voltajlı devrelerde çalışırlar. Cam için yüksek saflıkta kuvars kullanılır; çünkü en ufak bir kir bile waferin bozulmasına neden olabilir. Bu hiç istenmeyen bir durumdur.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir diğer nokta ise güç yoğunluğudur. Isıyı dar bir ışın halinde yoğunlaştırdığınızda, filaman çok daha yüksek sıcaklıklara ulaşır. Eğer güç kaynağınız düzensizse veya soğutma havası engellenirse, filaman beklenenden daha hızlı yanar. Bu bir denge meselesidir. Mükemmel hassasiyet elde edilir, ancak lamba elektriksel dalgalanmalara karşı biraz daha hassastır.
Ancak asıl avantaj iş yerinde ortaya çıkar. Yönlendirilebilir lambalar kullanıldığında, o “sıcak duvarlar” ortadan kalkar. Bu da operatörler için büyük bir rahatlama sağlar. Artık operatörler yanma endişesi olmadan makinenin yakınında çalışabilirler. Ayrıca, soğutma sistemlerinin yükü de oldukça azalır.
Bunları kurarken, sıcaklık kontrolünün düzgün olması için bunları PID kontrol cihazlarına bağlayın. Bir ipucu daha: Eğer makinenin dış sıcaklığının arttığını fark ederseniz, hemen reflektörün ayarlarını kontrol edin. Eğer reflektör hafifçe bile eğikse, bu durumda ısı lazeri doğrudan makinenin içine yönlendirilmiş olur.