Kurutma on Warm IR Heaters for Home

Fabrika kurutma işlemi için enerji denetimi

Fri, 17 Jul 2026 01:46:49 +0800

Kurulumunuzu dağınıklık olmadan temiz tutmak mümkün. Eğer Class 100 standartlarında bir temiz oda kullanıyorsanız, parçacık sorunlarıyla uğraşmanın ne kadar zor olduğunu zaten biliyorsunuzdur. Ucuz ısıtıcı elemanlardan kaynaklanan küçük parçacıklar veya düşük kaliteli lambalardan yayılan gazlar yüzünden waflarınız bozulabilir. Bu durum büyük bir felaket anlamına gelir.

İşte bu yüzden kızılötesi lambalarımız için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Böylece her şey temiz kalır.

Kuvarsın Neden İyi Olduğu

Yüksek sıcaklık değişimlerinde bile bozulmayan füzyonla işlenmiş silika kuvars kullanıyoruz. Termal genleşme katsayısı çok düşük olduğundan, hızlıca ısındığında veya soğuduğunda çatlamaz.

MEMS sensöri waferlerinin kurutulması için ısıtıcı

Thu, 16 Jul 2026 01:13:52 +0800

Neden MEMS yongalarını kurutmak için kızılötesi ısıtma yöntemi sıcak hava yönteminden daha iyidir?
Eğer hâlâ MEMS sensör yongalarınızı kurutmak için sıcak hava yöntemini kullanıyorsanız, büyük bir zaman kaybı yaşıyorsunuz demektir. Bu, bir tür engeldir.

Aslında sıcak hava yöntemi konveksiyona dayanır; önce havayı ısıtmak gerekir, ardından bu hava da yongayı ısıtır. Bu, aracı bir süreçtir ve oldukça yavaştır.

Kızılötesi ısıtma ise farklıdır. Elektromanyetik radyasyon kullanılarak yonga yüzeyine doğrudan ısı uygulanır. Aracı yoktur. Kurutma süresi birkaç dakikadan sadece birkaç saniyeye düşer. Yüksek kapasiteli üretim hatlarında bu büyük bir avantajdır; daha büyük bir temiz oda oluşturmadan her saat daha fazla yonga üretilebilir.

Deiyonize su kurutma lambası

Mon, 22 Jun 2026 18:39:11 +0800

Üretim alanında, litografiden sonra oluşan tek bir su izi bile büyük zararlara yol açabilir. Geleneksel kurutma yöntemlerinde sıcaklık dalgalanmaları meydana gelir ve parçacıklar sıcak yüzeylerden doğrudan filmin içine karışır. Bu tür sorunları ortadan kaldırmak için deiyonize su kullanarak kurutma işlemi gerçekleştiriyoruz. Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar, su tabakasına hızla etki ederek yüzeyi ısıtır; ancak bu işlemde rezistansın limitleri aşılmaz. Böylece wafler temiz bir şekilde kurutulur ve yumuşak/sert pişirme işlemleri de belirlenen sıcaklık aralığında gerçekleşir.

Kritik olan faktörler
Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar, su tabakasını hızla geçer. Kuvars kaplama ve yansıtıcı yapı sayesinde ısı gereken yerde kalır. Böylece waflerde ±0,1°C’lik bir düzgünlük elde edilir ve fotoresistin pişirilmesi sürecinde tekrarlanabilir sonuçlar elde edilir. Sistem, Class 1–100 temiz odalarda çalışır. Isıl bölge hiçbir parçacık üretmez ve rezistansı kirletecek herhangi bir gaz yayılımı olmaz. Güç yoğunluğu, fotosentetik maddelerin termal sınırlarını aşmadan buharlaşmayı sağlayacak şekilde ayarlanır. Lambanın çıkış gücü 24 saat boyunca sabit kalır ve 5.000 saatten fazla kullanım sonrasında bile %5’ten az bir düşüş görülür.

Wafer kurutma fırını için zamanlayıcı

Mon, 08 Jun 2026 02:24:02 +0800

Temizleme banyosundan çıkan bir wafer, üzerinde DI su tabakası ile gelir. Kurutma fırını, bu nemi fotoresist malzemeyi bozup partikül oluşumuna yol açmadan kurutmak zorundadır. Zamanlayıcı saparsa, kalma süresi değişir ve bu durum hat üzerinde verim kaybı olarak kendini gösterir. Bu nedenle, wafer kurutma fırınları için işlemi kontrollü tutan bir zamanlayıcı geliştirdik.

Teknik olarak yapması gerekenler
Bu zamanlayıcı, yarı iletken termal cihazlar içindir. Zamanlama doğruluğu %0.1, tekrarlanabilirlik ±10 ms’dir. 24 VDC ve PLC interlock’ları ile fırın kontrol döngülerine doğrudan bağlanır ve temizleme alanlarının kimyasal yoğun, nemli ortamında IP54 koruma sınıfına sahiptir. Temiz oda uyumlu üretim, düşük outgassing malzemeler ve geçen zamanı ile döngü tamamını gösteren bir ekran sunar—tahmine yer bırakmaz. Arayüz kasıtlı olarak sade tutulmuştur: ayarla, başlat, onayla.