http://warm-ir-heater-home.com/tr/tags/pi%C5%9Fir/ Recent content in Pişir on Warm IR Heaters for Home Hugo tr Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:37:26 +0800 http://warm-ir-heater-home.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-home.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Maruziyet sonrası ısıtıcı (PEB)"></p> <p>Litografi işlemi sırasında, PEB adımı, çizgi genişliklerini belirlediğimiz aşamadır. Waferin sıcaklığını 0,5°C kadar değiştirirseniz, haftalarca uğraştığınız bir hata ortaya çıkabilir. Bu yüzden bu tür bir ısıtıcıyı geliştirdik ki bu değişkenliği ortadan kaldırabilmek mümkün olsun.</p> <p><strong>Önemli olan şeyler:</strong><br> Temel yapı, kapalı döngü kontrolüyle birlikte çalışan kuvars-halogen kısa dalga yayıcılarından oluşur. 300 mm’lik wafer üzerinde termal düzenlilik ±0,1°C içinde kalır. Partiler arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C civarındadır; böylece fotoresistin aktivasyon profili bozulmaz. Odanın malzemeleri Class 1–100 standartlarına uygun şekilde seçilmiştir ve ısıtıcının <a href="https://henruite.com">geometrisi</a> de türbülansı en aza indirger; böylece ısıtma sırasında parçacık oluşumu engellenir. 90°C ile 150°C arasında stabil ayarlar elde edilebilir; ısı artış hızı ise 10°C/s’ye kadar çıkabilir. Ayrıca, sıcak noktaların oluşmasını önleyecek bir tasarım da mevcuttur.</p>