На лінії лиотографії процес висушування фоторезисту не є просто етапом підготовки – це важливий крок у процесі виробництва. Навіть незначна зміна температури на один-два градуси може призвести до порушення допусків щодо критичних розмірів. Якщо додати до цього ще й утворення частинок, то весь продукт може стати непридатним для використання. Потрібне інфрачервоне джерело світла, яке забезпечує стабільну температуру – без жодних припущень.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили інфрачервону лампу для обробки фоторезисту, використовуючи кварцові елементи з короткою довжиною хвилі, які швидко досягають потрібної температури. Система забезпечує однакову температуру на всій поверхні пластини – до ±0,1°C. Це дозволяє уникнути проблем з допусками. Сумісність з чистихами класу 1–100 також забезпечується завдяки використанню матеріалів з низьким рівнем випаровування та спеціальної геометрії, яка запобігає утворенню частинок. Відсутність частинок – це не просто слоган; ми досягаємо цього за допомогою контрольованих матеріалів та герметичної конструкції. Лампа працює 24/7 без перерв, а її продуктивність залишається стабільною протягом понад 5 000 годин.
Чому це ефективно на лінії
Лампа забезпечує правильну температуру для обробки фоторезисту. Вона швидко піднімає температуру пластини до необхідного рівня, а потім підтримує її там. Це дозволяє досягти більшої стабільності процесу та зменшити кількість відходів. Висока однорідність температури зменшує кількість дефектів на краях пластини, а швидка реакція лампи скорочує час обробки, не втрачаючи контролю над параметрами процесу. Використання енергії знижується, оскільки лампа нагрівається та охолоджується швидко. Крім того, менше замін лампи означає менше перерв у роботі.
Що потрібно знати заздалегідь
Під час встановлення необхідно врахувати геометрію відбивача та отвору лампи, а також з’єднати її з системою керування температурою печі. Перед модифікацією необхідно переконатися у сумісності напруги та роз’ємів з інтерфейсом виробника. Очікуйте короткий час налаштування після початку роботи, поки система не досягне стабільної температури. Розраховуйте час обробки, враховуючи цей факт, щоб все відбувалося в межах необхідних параметрів.