Інфрачервоний випромінювач нагріву PECVD
На виробничому майданчику Зміщення температури на 0.5°C у профілі випікання PECVD-камери не є незначним. Це проявляється у вигляді неоднорідності...
Інфрачервона лампа для інструменту Applied Materials
На виробничому майданчику тепловий дрейф не проявляється у вигляді сигналу тривоги або зупинки. Він проявляється як критичний розмір, що змінюється,...