فیبرکی فلور پر، آپ کو تو معلوم ہی ہے کہ پروسیس کے دوران 1 درجہ سیلسیس کا فرق بھی کرٹیکل ڈائمینشنز کو متأثر کرنے اور پروڈکشن کی کارکردگی کو کم کرنے کے لئے کافی ہے۔ اسی لئے ویفر ٹولز میں استعمال ہونے والے انفراریڈ لیمپوں کی ساخت ایسی ہے کہ تھرمل بجٹ سے متعلق پیشن گوئیوں کی ضرورت ہی نہ رہے۔
جو چیزیں اہم ہیں:
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز کا استعمال کرتے ہیں، جن کے ساتھ اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز ساخت کے ساکٹ استعمال کئے جاتے ہیں؛ اس طرح تیز رفتاری سے حرارت پیدا ہوتی ہے، اور ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت ±0.1 درجہ سیلسیس کے اندر ہی رہتا ہے۔ سیٹپوائنٹ کی تکراریت بھی ±0.5 درجہ سیلسیس کے اندر ہی رہتی ہے۔ یہ ڈیزائن کام کے دوران کوئی ذرات پیدا نہیں کرتا، اور یہ کلاس 1 سے لے کر کلاس 100 تک کے کلین رومز میں بھی استعمال کیا جاسکتا ہے۔ پاور سپلائی مستحکم ہے، وولٹیج کی حد بھی مناسب ہے، اور شعاع کی مقدار بھی مستقل رہتی ہے؛ اس طرح ہر ٹول اور ہر شفٹ میں ایک ہی تھرمل پروفائل حاصل ہوتا ہے۔
لیتھوگرافی اور دیگر عملوں میں اس کی اہمیت:
لیتھوگرافی میں، “سافٹ بیک” عمل سولوونٹس کو ختم کرنے اور فوٹوریزسٹ کو چپکانے میں مدد کرتا ہے؛ جبکہ “ہارڈ بیک” عمل، ایچنگ سے پہلے پیٹرن کو محفوظ کرتا ہے۔ ہمارے انفراریڈ ساکٹ، ان دونوں عملوں کو مستحکم کرتے ہیں، جس سے لائنوں کی چوڑائی میں تغیرات کم ہوتے ہیں، اور کناروں پر مسائل پیدا نہیں ہوتے۔ ویفر کی صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، تیز رفتاری سے حرارت پیدا ہونے سے عمل میں کمی واقع ہوتی ہے، جس سے توانائی کی کھپت اور عمل کا وقت کم ہوتا ہے۔ نتیجے کے طور پر، پروڈکشن کی رفتار بڑھ جاتی ہے، واپس کرنے کے عمل کم ہو جاتے ہیں، اور ہر بیکنگ اسٹیشن پر قابل اعتماد نتائج حاصل ہوتے ہیں۔
وہ عوامل جو آپ کو پریشانیوں سے بچاتے ہیں:
لیمپ، ساکٹ اور ریفلیکٹر کے درمیان درست التھرنگ ضروری ہے تاکہ درجہ حرارت کی یکسانیت برقرار رہے۔ تصدیق سے پہلے، تھرمل کپلنگ اور کولنگ پاتھس کی جانچ کریں، اور یقین کریں کہ ساکٹ کی ساخت، فوٹوریزسٹ میں موجود سولوونٹس کے ساتھ مطابقت رکھتی ہے۔ طویل عرصے تک درجہ حرارت کو مستحکم رکھنے کے لئے، لیمپوں کی باقاعدگی سے تبدیلی ضروری ہے۔