Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi: Tại sao các tấm phản xạ được phủ vàng lại quan trọng đến vậy?
Nếu bạn đang hoạt động trong lĩnh vực chế tạo wafer bán dẫn, thì mỗi watt năng lượng đều rất quan trọng. Không có gì tồi tệ hơn việc phải chứng kiến nguồn năng lượng đắt tiền bị lãng phí chỉ vì các tấm phản xạ không thể hoạt động hiệu quả.
Hầu hết các xưởng sản xuất đều sử dụng tấm phản xạ làm từ nhôm. Đó là lựa chọn thông thường. Nhưng vấn đề là nhôm không thể phản xạ tốt ánh sáng hồng ngoại tần số cao. Kết quả là quá nhiều năng lượng bị lọt qua tấm phản xạ.
Đây chính là lúc vàng xuất hiện. Bằng cách thay thế các bề mặt thông thường bằng lớp phủ vàng có độ tinh khiết cao, chúng ta có thể buộc năng lượng phải di chuyển đúng hướng – thẳng vào wafer.
Sự khác biệt thực sự giữa vàng và nhôm
Có thể hiểu như sau: Nhôm cũng ổn, nhưng vàng thì hoàn toàn vượt trội trong việc phản xạ ánh sáng hồng ngoại. Khi chúng ta sử dụng lớp phủ vàng, tấm phản xạ sẽ không hấp thụ năng lượng nữa. Thay vào đó, năng lượng sẽ được phản xạ trở lại về phía mục tiêu. Kết quả là năng lượng được phân bố đều trên bề mặt wafer. Không còn tình trạng năng lượng bị phân bố không đều nữa.
Làm thế nào để đạt được độ chính xác cao?
Chúng ta đều từng gặp phải tình trạng “vùng nhiệt độ thấp”. Đó thực sự là một vấn đề khó chịu. Khi thiết lập hệ thống gia nhiệt, hình dạng của tấm phản xạ rất quan trọng. Chúng ta sử dụng các tấm phản xạ có hình dạng parabol hoặc elip để đảm bảo ánh sáng hồng ngoại được phản xạ đúng hướng. Điều này giúp tránh tình trạng nhiệt độ giảm xuống ở các mép wafer. Nếu bạn từng gặp vấn đề với việc gia nhiệt không đều, thì đây chính là nguyên nhân.
Nhược điểm của vàng và cách khắc phục
Vàng có tính ổn định về mặt hóa học, nhưng nó không phải là “phép màu”. Nó có khả năng chống oxy hóa tốt hơn nhôm, nhưng lại rất kỵ bụi bẩn. Chỉ cần một chút bụi hoặc dấu vân tay thôi cũng có thể làm giảm khả năng phản xạ của vàng. Nếu bề mặt bị bẩn, năng lượng sẽ không thể được phản xạ hiệu quả. Bạn cần duy trì lịch trình vệ sinh định kỳ để giữ cho tấm phản xạ luôn sạch sẽ.
Một điều nữa cần lưu ý: Vì chúng ta sử dụng năng lượng tập trung cao để chiếu vào wafer, nên các tấm làm mát cũng cần phải đáp ứng được yêu cầu. Hãy đảm bảo rằng chúng được thiết kế đúng cách để tránh tình trạng wafer bị cháy ở các mép.